簡要描述：叉指電極真空探針臺是鄭州科探儀器專門為實驗研究設(shè)計的一款小型探針臺，具有高低溫功能，智能多端溫控，性價比高等特點。叉指陣列微電極因其結(jié)構(gòu)簡單容易量產(chǎn),尺寸小響應(yīng)靈敏,且在檢測中能快速建立穩(wěn)定信號而被廣泛應(yīng)用于各類傳感器中。但是基于叉指電極的傳感器在靈敏度、選擇性等重要的性能方面仍有待提高

詳細(xì)介紹

叉指電極真空探針臺KT-0904T-RL

微間距的叉指電極是一種為常用的微間距電極結(jié)構(gòu)，它被廣泛的應(yīng)用于非破壞性測試、電子通訊、化學(xué)測試等多個領(lǐng)域。一般來說，不同的應(yīng)用領(lǐng)域?qū)τ诓嬷鸽姌O的形狀、幾何學(xué)尺寸、加工工藝、材料的選擇、建模分析、系統(tǒng)集成以及數(shù)據(jù)的分析都有不同的要求，因此對于不同的領(lǐng)域我們應(yīng)該區(qū)分對待。如圖所示，列出了幾種常見的叉指電極結(jié)構(gòu)，基本的結(jié)構(gòu)有圓形、矩形等，而每條叉指的形狀除簡單的矩形外，也可有圓形或矩形突起。在這里，我們要根據(jù)環(huán)境監(jiān)測的具體要求，針對叉指電極的結(jié)構(gòu)形狀進(jìn)行分析說明和終的結(jié)構(gòu)選擇，確定具體的設(shè)計參數(shù)根據(jù)微弱信號檢測的相關(guān)原理，在低頻信號測量時，電阻值越高，其相應(yīng)的電阻熱噪聲和閃爍噪聲也就越高，不利于信號的提取和檢測[1]。所以，可以通過減少敏感膜電阻值的方法，實現(xiàn)對氣體敏感傳感器的信號噪聲比的提高，從而減小噪聲對測量信號的干擾。根據(jù)電阻的計算公式，影響阻值變化的因素主要有電阻率、電阻長度及橫截面積等。一般情況下，氣體敏感材料薄膜的電阻率較高，因此減小敏感膜電阻值的方法是增加敏感膜的厚度或者是增大敏感膜的寬長比。但是，敏感膜的厚度太大會降低氣體敏感傳感器的響應(yīng)時間。因此，綜合考慮到響應(yīng)時間和信噪比，需要設(shè)計優(yōu)化氣體敏感傳感器中微電極的厚度和長寬比。

叉指電極真空探針臺技術(shù)參數(shù)；

真空腔體
類型	加熱型350℃ 或者加熱制冷型室溫到350℃ 室溫到-190℃
腔體材質(zhì)	304不銹鋼
腔體內(nèi)尺寸	φ90x40mm
腔體上視窗尺寸	Φ42mm（選配凹視窗Φ22mm）
腔體抽氣口	KF16
腔體進(jìn)氣口	公制3mm 6mm氣管接頭英制1/8mm 1/4mm 氣管接頭可選
腔體出氣口	公制3mm 6mm氣管接頭英制1/8mm 1/4mm 氣管接頭可選
腔體正壓	≤0.05MPa
腔體真空度	機(jī)械泵≤5Pa （5分鐘）分子泵≤5E-3Pa（30分鐘）
樣品臺
樣品臺材質(zhì)	304不銹鋼
樣品臺尺寸	26X26mm
樣品臺-視窗距離	30mm（可選凹視窗間距15mm）
樣品臺測溫傳感器	A 級PT100鉑電阻
樣品臺溫度	室溫到350℃（可選高低溫樣品臺高溫350℃低溫-190℃）
樣品臺測溫誤差	±0.2℃
樣品臺變溫速率	高溫10℃/min 低溫5℃/min 值
溫控儀
溫度顯示	7寸人機(jī)界面
溫控類型	標(biāo)準(zhǔn)PID溫控 +自整定（可選30段編程控溫）
溫度分辨率	0.1℃
溫控精度	±0.5℃
溫度信號輸入類型	PT100熱電阻（可選 K S B型熱電偶）
溫控輸出	直流線性電源加熱（液氮流量線性控制液氮制冷）
輔助功能	溫度數(shù)據(jù)采集并導(dǎo)出實時溫度曲線+歷史溫度曲線
探針
電信號接頭	配線轉(zhuǎn)接 BNC接頭 BNC三同軸接頭 SMA 接頭香蕉插頭線長1.2米
電學(xué)性能	絕緣電阻 ≥4000MΩ 介質(zhì)耐壓 ≤200V 電流噪聲 ≤10pA
探針數(shù)量	4探針（可定做6探針）
探針材質(zhì)	鍍金鎢針
探針尖	10μm
探針移動平臺
X軸移動行程	12mm ±6mm
X軸控制精度	≤5μm
Y軸移動行程	12mm ±6mm
Y軸控制精度	≤5μm
Z軸移動行程	12mm ±6mm
Z軸控制精度	≤5μm
數(shù)碼顯微鏡
顯微鏡類別	物鏡放大+電子放大
顯微鏡放大倍數(shù)	100倍
顯微鏡工作間距	50-150mm
相機(jī)分辨率	1080P 60幀
相機(jī)信號輸出	HDMI輸出+USB輸出
LED可調(diào)光源	LED光源
顯示屏	5寸屏幕一體機(jī)