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晶圓減薄機(jī)

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參考價(jià): ￥ 1000000

訂貨量: ≥1 件

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號(hào)DL-GD2005A

品牌其他品牌

廠商性質(zhì)生產(chǎn)商

所在地深圳市

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聯(lián)系方式：駱先生查看聯(lián)系方式

更新時(shí)間：2024-09-27 14:33:55瀏覽次數(shù)：84次

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產(chǎn)品分類 品牌分類

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深圳市夢(mèng)啟半導(dǎo)體裝備有限公司

經(jīng)營(yíng)模式：生產(chǎn)廠家

商鋪產(chǎn)品：11條

所在地區(qū)：廣東深圳市

聯(lián)系人：駱先生（運(yùn)營(yíng)）

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

晶圓尺寸	?8'' (?4''/?6''/?8'')in	研磨方式	晶圓旋轉(zhuǎn)進(jìn)給磨削
砂輪直徑	?250金剛石砂輪mm	主軸額定功率	7.5/12.9KW
主軸額定轉(zhuǎn)速	4000RPM	磨削精度片間厚度變化	≤±2um
磨削精度TTV	≤2um	磨削精度表面粗糙度Ra	0.15（#2000）um

1、氣源使用壓力為0.5Mpa~ 0.8 Mpa 露點(diǎn)為-40 ℃，殘余含塵量≤0.1mg/m'，殘余含油量≤0.01mgm'，氣體流量為2.4mmin，管徑 012。
2、真空負(fù)壓為-80kpa--85kpa，管徑 012。
3、水源使用壓力為0.25Mpa-0.4Mpa，管徑 016。

詳細(xì)介紹

設(shè)備優(yōu)勢(shì)

◎ 減薄單元采用軸向進(jìn)給(ln-Feed)磨削原理，兼容Φ100~300mm晶圓磨削減薄加工。

◎ 設(shè)備配有MARPOSS在線測(cè)量?jī)x單元，加工時(shí)實(shí)時(shí)測(cè)量產(chǎn)品厚度，精確控制減薄厚度。也可選配非接觸測(cè)量NCG單元。

◎ 設(shè)備核心是具有自主產(chǎn)權(quán)的2個(gè)靜壓氣浮磨削主軸、3個(gè)高精度晶圓主軸及1個(gè)高剛度大直徑氣浮回轉(zhuǎn)工作臺(tái)構(gòu)造的全自動(dòng)磨削減薄機(jī)。

◎ 全自動(dòng)上下料?？蛇M(jìn)行4寸(40um)~ 12寸(80um)超薄晶圓加工。

◎ 分別在前面、左面、右面各配置了1臺(tái)觸摸式液晶顯示器，方便在不同區(qū)域作業(yè)需求，提高了操作便利性?？刂飘嬅婵赏斤@示加工狀況和設(shè)備狀態(tài)，操作人員只要觸摸控制畫面上的按鈕，就可以簡(jiǎn)單地完成操作。

性能參數(shù)

參數(shù)名稱		單位	DL-GD2005A	DL-GD3005A
晶圓尺寸		in	?8'' (?4''/?6''/?8'')	?12'' (?8''/?12'')
研磨方式		-	晶圓旋轉(zhuǎn)進(jìn)給磨削
砂輪直徑		mm	?250金剛石砂輪	?300金剛石砂輪
主軸	額定功率	KW	7.5/12.9	5.5
主軸	額定轉(zhuǎn)速	RPM	4000	3500
磨削精度	片間厚度變化	um	≤±2	≤±3
	TTV	um	≤2	≤3
	表面粗糙度Ra	um	0.15（#2000）	0.15（#2000）
設(shè)備尺寸（W x D x H）		mm	1350x3200x1950	1544x3622x2000
設(shè)備重量		KG	約3500	約4000