LDRS-7硅烷燃燒塔
【簡單介紹】
【詳細說明】
概述Summary
我公司生產(chǎn)的LDRS型不銹鋼硅烷燃燒凈化塔是處理硅烷、氨氣及其他堿性可溶性氣體的廢氣凈化設(shè)備,主要用于處理太陽能電池生產(chǎn)線行業(yè)以及PECVD化學(xué)氣相沉淀工藝所產(chǎn)生的廢氣。
本產(chǎn)品在結(jié)構(gòu)上主要由不銹鋼殼體、燃燒系統(tǒng)、洗滌系統(tǒng)和清渣系統(tǒng)組成。在進氣方便采用壓縮空氣加新風(fēng)進氣口雙進風(fēng)形式,提高產(chǎn)品運行效率和可靠性。在噴淋系統(tǒng)方面,采用循環(huán)水泵與自動補水相結(jié)合的方法,風(fēng)機采用一用一備形式,這些工藝特點使得本產(chǎn)品在安全可靠性方面得到*保證。內(nèi)部燃燒室采用特殊的泄壓裝置,即使在內(nèi)部壓力突然增大的情況下仍能正常工作,同時配備了氮氣入口,更加大了設(shè)備的安全性。在粉塵收集方面采用靜壓沉積的方法,沉積下來的粉塵通過排渣口排出,這使粉塵收集處理變得更容易、更有效。經(jīng)部門檢測,客戶單位硅烷(SiH4)去除率≥99.99%,氨氣(NH3)以及其他水溶性的凈化率高達99.99%。
工作原理Operation principle
本產(chǎn)品采用優(yōu)質(zhì)不銹鋼板進行制造,根據(jù)硅烷與空氣接觸而自然的特點,使硅烷在燃燒室與空氣接觸燃燒,燃燒后的氣體穿過填料層再進入燃燒塔噴淋室,經(jīng)過噴淋處理,使廢氣與中和循環(huán)液接觸反應(yīng),然后進入脫液器處理后由抽風(fēng)機排入大氣。
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