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規(guī)格參數(shù)：
| 探頭 | F400 | F1 | F1/90 | F10 | N400 | N1 | CN02 | |||||
| 測量原理 | 磁性 | 渦流 | | |||||||||
| 測量范圍（μm） | 0～400 | 0～1250 | 0～10mm | 0～400 | 0～12500 | 10～200 | ||||||
| 測量精度μm | 一點校準(zhǔn) | ±[（1～3）%H+0.7] | ±（3%H+1） | ±（3%H+10） | ±（3%H+1） | ±（3%H+1.5） | ±（3%H+1） | |||||
| 二點校準(zhǔn) | ±（1～3％H+0.7） | ±[（1~3）%H+1] | ±[（1～3）%H+10] | ±[（1～3）%H+1] | ±[（1～3）%H+1.5] | --- | ||||||
| 低限分辨率 | 0.1 | 0.1 | 1 | 0.1 | 0.1 | 1 | ||||||
| zui小曲率半徑（mm） | （凸）1 | 1.5 | 平直 | 10 | 1.5 | 3 | 僅為平面 | |||||
| zui小面積直徑（mm） | ￠3 | ￠7 | ￠40 | ￠4 | ￠5 | ￠7 | ||||||
| 基本臨界厚度（mm） | 0.2 | 0.5 | 2 | 0.3 | 0.3 | 無限制 | ||||||
描述：
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