產(chǎn)品特色
● 價(jià)格低廉,
● 超小的體積,輕松置于掌心,適合系統(tǒng)集成
● 快速響應(yīng),優(yōu)于70 ms的預(yù)熱時(shí)間
● 壓損極低,滿量程僅為1KPa
● 內(nèi)置精巧的PD閥(比例微分閥),控制穩(wěn)定、精確
● 測量和控制范圍0.5 ~ 99%滿量程,一臺(tái)設(shè)備適用于多個(gè)應(yīng)用
● 配備模擬控制和數(shù)字控制
● 的抗振性能,可適用于鐵路焊機(jī)等嚴(yán)格場合
技術(shù)指標(biāo)
介質(zhì)要求 潔凈、干燥、無腐蝕性氣體
介質(zhì)種類 每臺(tái)設(shè)備只能選ABC其中的一種:
A:空氣、氬氣、二氧化碳、氮?dú)?、氧氣、一氧化二氮,可通過RS485切換
B:僅支持氫氣
C:僅支持氦氣
量 程 0 - 100 SCCM ,0 - 1000 SCCM, 0 - 20 SLPM, 0 - 50 SLPM
(注:選擇CO2和N2O后量程降低為原來的75%。)
測量和控制范圍 1 ~ 99% (0-100 SCCM)
0.5 ~ 99% (0-1000 SCCM、0-20 SLPM、0-50 SLPM)
可控流量 102 % 滿量程
精 度 ±(1.5 % 讀數(shù) + 0.5 % 滿量程)
重 復(fù) 性 ± 0.5 % 讀數(shù)
質(zhì)量流量溫度漂移 ± 0.2 % 滿量程 / ℃
零點(diǎn)漂移&滿量程漂移 0.05%滿量程/年
響應(yīng)時(shí)間 優(yōu)于100 ms
預(yù)熱時(shí)間 70 ms
標(biāo)定工況 25℃ & 1Atm(其它標(biāo)況可調(diào))
工作溫度 0 ~ 50℃
工作濕度 < 90 %,無冷凝
工作壓力 0-100 SCCM、0-1000 SCCM為1MPa,
0-20 SLPM、0-50 SLPM為60 PSIG
滿量程壓損 1 KPa
數(shù)字輸入/輸出信號(hào) RS485、RS232、Modbus
模擬輸入/輸出信號(hào) 0 - 5 VDC、4 - 20 mA
供電電壓 10-30 VDC
供電電流 200 mA
閥門泄漏率 內(nèi)漏:10-5 Atm – cc/sec He
外漏:10-9 Atm – cc/sec He
材 質(zhì) 主體材質(zhì):316不銹鋼
閥體材質(zhì):黃銅
密封材質(zhì):FKM (Viton)
傳 感 器:氮化硅
過程連接 NPT 內(nèi)螺紋
振 動(dòng) 20g;MIL-STD-883E, Method 2002.4
安裝方式 對位置無要求
防護(hù)等級(jí) IP40
認(rèn) 證 CE、RoHS、REACH