產(chǎn)品特點
?高級伺服電機驅(qū)動,高精度,高重復(fù)性
?工業(yè)級設(shè)計,PLC控制,7英寸全彩觸屏操作
?HDPE內(nèi)腔,不銹鋼外殼,耐溶劑PC透明蓋
?可嵌入式安裝在手套箱內(nèi),降低操作高度使用
?可添加背部清洗和去邊膠功能,滿足工業(yè)級用途
?可處理基片尺寸范圍:小于1cm碎片至8寸圓形底物
性能參數(shù)
?轉(zhuǎn)速范圍:0-10000rpm
?加減速可調(diào)節(jié)范圍:0-50000rpm/s
?轉(zhuǎn)速精度:±1rpm(AC200-SE) ±1rpm(AC200-PE)
?單步步長3000s, 時間分辨率:0.1s
?可編程最多100組100步,更多可擴展
?帶四只自動點膠端口,可升級多路自動點膠功能
?標(biāo)配三種規(guī)格真空載物盤:10mm、25mm、55mm
?外形尺寸:306mm(W)*434mm(D)*306mm(H)