大型抽屜式UV光清洗機適用中大型基片等清洗,如液晶面板,ITO導(dǎo)電玻璃,晶圓,OLED,LCD,硅片,陶瓷,金屬片,聚合物,硅膠等表面清洗,用于清洗產(chǎn)品的表面有機物,即進行表面改質(zhì),從而獲得較好的親水性,可根據(jù)客戶要求進行客戶化設(shè)計。
產(chǎn)品配置
整機采用不銹鋼304制作,關(guān)鍵元器件采用施耐德,歐姆龍等品牌;
電源:220V;
燈管:根據(jù)客戶需求定制燈管功率及尺寸,壽命5000小時;
主要工作光譜:185nm+254nm;
有效清洗面積:350*350MM,320*380MM或客戶尺寸
清洗時間控制器:0-99.99小時或分鐘;
安全防護功能:當(dāng)清洗腔門打開時,燈管自動熄滅;
照射高度:可定制
UV ON/OFF指示,異常指示/警報;
燈管預(yù)熱:具燈管預(yù)熱提示功能,使清洗數(shù)據(jù)更精準(zhǔn);
加熱(選配):可選擇加配外置加熱平臺,溫度范圍:常溫-450攝氏度;
排風(fēng)功能:自帶臭氧排風(fēng)系統(tǒng),可分檔調(diào)節(jié)風(fēng)速,8cm直徑出風(fēng)口,配置風(fēng)管及緊固件;
應(yīng)用領(lǐng)域
■在進行薄膜沉積之前*行基片清洗。清除浮渣和穩(wěn)定化處理光刻膠。超高真空度密封。
■清洗硅芯片,透鏡,反光鏡,太陽能面板,冷軋鋼,慣性引導(dǎo)零件和 GaAs芯片
■清潔焊劑,混合電路以及平板LCD顯示器
■蝕刻特氟隆,氟橡膠以及其它有機材料
■增強GaAs 和Si氧化物鈍化表面
■增強玻璃的除氣作用
■基片藍(lán)膜去除
■增強塑料表面的鍍膜的粘附性
■基片終測后墨跡清楚
■去除光刻膠
■平板顯示器/液晶顯示器
■去除光刻機臺上的光刻膠殘留物
■在電路板封裝和打片之前清洗)
■光纖
■增強表面親水特性
■為生物科學(xué)應(yīng)用做清洗和消毒
■光學(xué)透鏡
■其它應(yīng)用