主要特點(diǎn)
我公司研制的滑軌式PECVD系統(tǒng)能使整個(gè)實(shí)驗(yàn)腔體都處于輝光產(chǎn)生區(qū),輝光均勻等效,這種技術(shù)很好的解決了傳統(tǒng)等離子工作不穩(wěn)定狀態(tài),這樣離子化的范圍和強(qiáng)度是傳統(tǒng)PECVD的百倍,并解決了物料不均勻堆積現(xiàn)象。
1.與傳統(tǒng)CVD系統(tǒng)比較,生長(zhǎng)溫度更低。
2.使用滑軌爐實(shí)現(xiàn)快速升溫和降溫。
3.設(shè)備*的技術(shù)使得整管輝光均勻等效,均勻生長(zhǎng)。
技術(shù)參數(shù)
三溫區(qū)滑軌爐 BTF-1200C-III- SL | 爐管尺寸 | 外徑Φ100*2330mm(可選) |
極限溫度 | 1200℃ | |
工作溫度 | ≤1100 ℃ | |
溫度控制器 | PID自動(dòng)控制晶閘管(可控硅)輸出功率, 30段可編程控制器 | |
Z快升溫速率 | ≤20℃/min | |
加熱區(qū) | 300+300+300mm | |
恒溫區(qū) | 150+200+150mm | |
控溫精度 | ±1 ℃ | |
電源 | 單相220V,交流50Hz | |
4路質(zhì)量流量供氣系統(tǒng) | Z大電壓 | 185~245V/50Hz |
Z大輸出功率 | 18W | |
流量計(jì)標(biāo)準(zhǔn)量程 | 100,200,200,500SCCM;(非特殊以氮?dú)鈽?biāo)定,量程可選定 | |
工作溫度 | 5~45 oC | |
工作壓差 | 0.1~0.5 MPa | |
Z大壓力 | 3MPa | |
準(zhǔn)確度 | ±1.5% FS | |
測(cè)量范圍 | -0.1~0.15 MPa(0.01 MPa/grid) | |
針閥 | 316不銹鋼 | |
混氣罐 | Φ80×120mm | |
截止閥 | Φ6mm”316不銹鋼針閥 | |
尺寸 | 600*600*650mm | |
低真空系統(tǒng) | 空氣相對(duì)濕度 | ≤85% |
工作電電壓 | 220V±10% 50~60HZ | |
功率 | 500W | |
抽氣速率 | 10m3/h | |
極限真空 | 4X10-2Pa | |
實(shí)驗(yàn)真空度 | 1.0X10-1Pa | |
容油量 | 1.1L | |
進(jìn)氣/排氣口徑 | KF25 | |
噪音 | 50dB | |
外形尺寸 | 600×600×600mm | |
射頻電源 | 信號(hào)頻率 | 13.56MHz±-0.005% |
射頻功率輸出范圍 | 5W-500W | |
Z大反射功率 | 200W | |
射頻輸出接口 | 50Ω。N-type,female | |
功率穩(wěn)定度 | ±0.1% | |
諧波分量 | ≤-50dbc | |
供電電壓 | 單相50/60Hz 220v±10% | |
整機(jī)效率 | >=70% | |
功率因素 | >=90% | |
冷卻方式 | 強(qiáng)制風(fēng)冷 |