主要特點
一、此設(shè)備的高溫真空電阻爐溫度控制系統(tǒng)采用經(jīng)典的閉環(huán)負反饋控制系統(tǒng),控溫儀表選用智能型程序溫度調(diào)節(jié)儀表控溫,電力調(diào)制器控制;負載采用小電壓大電流控制,從而大大提高了發(fā)熱元件的壽命,測溫元件采用 K 型熱偶。30段可編程控溫,PID參數(shù)自整定,操作界面為10寸工控電腦,內(nèi)置PLC控制程序,可將溫控系統(tǒng)、滑軌爐滑動(時間和距離)設(shè)定為程序控制。同時系統(tǒng)設(shè)置了超溫、 欠溫、斷偶報警保護功能,大大降低了對操作人員經(jīng)驗的要求,關(guān)鍵電氣元件采用優(yōu)質(zhì)的進口產(chǎn)品,做到高性能、免維護,提高了設(shè)備質(zhì)量的可靠性。
二、PECVD是借助于輝光放電等方法產(chǎn)生等離子體,輝光放電等離子體中:電子密度高109-1012cm3電子氣體溫度比普通氣體分子溫度高出10-100倍,使含有薄膜組成的氣態(tài)物質(zhì)發(fā)生化學(xué)反應(yīng),從而實現(xiàn)薄膜材料生長的一種新的制備技術(shù)。通過反應(yīng)氣態(tài)放電,有效地利用了非平衡等離子體的反應(yīng)特征,從根本上改變了反應(yīng)體系的能量供給方式,低溫熱等離子體化學(xué)氣相沉積法具有氣相法的所有優(yōu)點,工藝流程簡單。
技術(shù)參數(shù)
設(shè)備整體結(jié)構(gòu) | |
加熱原件 | 電阻絲 |
額定電壓 | AC220V/380V 50/60HZ |
功率 | 7KW |
Z高溫度 | 1200℃ |
爐管尺寸 | 外徑Φ60*2330mm |
加熱區(qū)長度 | 230+230+230mm |
控溫方式
| 模糊PID控制和自整定調(diào)節(jié),智能化30段可編程控制。 觸屏操控界面 |
設(shè)備重量 | 約300KG |
三溫區(qū)滑軌爐 | |
加熱區(qū)長度 | 230mm+230mm+230mm |
爐管長度 | Φ60*2330mm 壁厚3mm |
控溫精度 | ±1°C |
控溫方式 | 模糊PID控制和自整定調(diào)節(jié),智能化30段可編程控制,具有超溫和斷偶報警功能 |
密封方式 | 不銹鋼真空法蘭密封 |
射頻電源 | |
信號頻率 | 13.56 MHz±0.005% |
功率輸出范圍 | 5W-500W |
射頻輸出接口 | 50 Ω, N-type, female |
功率穩(wěn)定度 | ±0.1% |
諧波分量 | ≤-50dbc |
冷卻方式 | 強制風冷 |
真空部分 | |
真空泵 | DRV-16 |
泵抽速 | 16m3/h |
極限真空 | 5X10-1Pa |