產(chǎn)品簡介：
OWT-200平整度測試系統(tǒng)，采用光學方法測量晶圓、藍寶石、Sic、Si、玻璃等材質的表面特征，在無需任何接觸的情況下測量厚度、TTV、LTV、彎曲度、平整度等，可在線和離線測量。
產(chǎn)品特點：
■厚度、TTV、LTV、翹曲度、彎曲度、平坦度測量；
■無接觸測量；
■無需校準；
■高精度、高重復性；
■樣品臺可選：4寸、6寸、8寸；
■強大的分析軟件，可顯示3D表面形貌；
■同時進行各種參數(shù)的測量，具備超高的測試速度；
技術參數(shù)：
■TTV
■精確度：±0.1um
■重復性精度：0.01um■厚度
■精確度：±0.2um
■重復性精度：0.1um
■測試范圍：50-2000um■翹曲度/彎曲度
■精確度：0.5um
■重復性精度：0.2um
■測試范圍：200um■整機參數(shù)
■測量時間：<100秒
■測量尺寸：8寸
■尺寸：550*602*291mm
■整機功率：800W
典型客戶：
藍寶石、碳化硅、石英玻璃等透明或半透明晶片企業(yè)等。
北京合能陽光新能源技術有限公司（以下簡稱“合能陽光”）總部位于北京通州工業(yè)開發(fā)區(qū)，公司主導產(chǎn)品涉及半導體及光伏行業(yè)的檢測儀器、工藝和耗材領域，是集研發(fā)、生產(chǎn)、銷售、服務及對外投資于一體的綜合性高科技公司。
公司所服務的客戶來自于國內企業(yè)，如賽維LDK、保利協(xié)鑫、比亞迪、中電集團、億晶光電、旭陽雷迪、錦州陽光、Ferro申和熱磁、國泰半導體、晶鑫科技、湖北晶星、大全新能源、新疆新能源、晶龍集團、Pro-Q、光為、國電集團、京運通、七星華創(chuàng)、新天源、超日、*、中國表面物理與化學研究、成都光電、包頭山晟……等幾百家半導體和太陽能單位。
公司現(xiàn)有員工34人，大專本科以上學歷25人，研究生６人，博士１人，建筑面積3000m２。
近年來，公司的海外市場發(fā)展勢頭良好，產(chǎn)品出口到美國、歐洲、韓國、新加坡等國家地區(qū)，目前公司在和海外同行建立產(chǎn)品加工合作關系的同時還建立自己的代理商和銷售中心。
檢測儀器和產(chǎn)業(yè)耗材
平整度測試系統(tǒng)：OWT-200 產(chǎn)品信息
