產品介紹:
藍寶石及碳化硅晶片平坦度及表面形態(tài)測試儀為精密部件的制造商提供了業(yè)界的表面形態(tài)測量。通過非接觸式光學測量技術記錄下整個表面的數(shù)據。它能夠快速和準確地對各種表面的平面度、線型和其他表面參數(shù)進行測量。
產品特點：
■ 無接觸和無損傷測量
■ 適用多種類型材料：半導體，金屬，聚合物，陶瓷，玻璃和其它材料
■ 適用多種類型晶片：硅/藍寶石/碳化硅/砷化鎵/石英/鍺/鈮酸鋰
■ 適用多種類型表面：研磨表面，拋光面，超光滑面
■ 測量多種不同指標：
厚度/TTV/SORI/LTV/LDOF/壓力/翹曲度/彎曲度/平坦度/平面度/線輪廓/表面輪廓
■ 完整的分析系統(tǒng)：
三維/拓撲/合格率/分布/二維環(huán)形和半徑切面/平面/球面/錐形匹配/局部平面度分析/斜度
■ 可以實現(xiàn)自動、快速、準確、穩(wěn)定的測量
■ 超過15年的工業(yè)應用，幾百臺的裝機量
技術參數(shù)：
■ 精確度：50nm （2.0μ″）
■ 重復性：15 nm（0.6μ″）（1 sigma）
■ 分辨率：5nm （0.2μ″）
■ 可測量工件尺寸：25mm-200mm
■ 動態(tài)測量范圍：>100um
■ 測量數(shù)據點：230,000 / measurement
■ 測量時間：5秒
■ 電源：～220V 50Hz
典型客戶:
國外：Honeywell Electronic Materials，SEI，Showa Denko，SESMI，Saint Gobain，Nikko Materials，Hitachi Cable，F(xiàn)reiberger Compound Materials，Crystal Tech，Samsung，LG，Crystalwise，Wafer Works……
國內：賽維，重慶四聯(lián)，中電46所，山東大學，大連理工大學，半導體所，物理所，中科晶電，中科鎵英，云南藍晶，青島嘉星晶電，天科合達，大慶佳昌……
北京合能陽光新能源技術有限公司（以下簡稱“合能陽光”）總部位于北京通州工業(yè)開發(fā)區(qū)，公司主導產品涉及半導體及光伏行業(yè)的檢測儀器、工藝和耗材領域，是集研發(fā)、生產、銷售、服務及對外投資于一體的綜合性高科技公司。
公司所服務的客戶來自于國內企業(yè)，如賽維LDK、保利協(xié)鑫、比亞迪、中電集團、億晶光電、旭陽雷迪、錦州陽光、Ferro申和熱磁、國泰半導體、晶鑫科技、湖北晶星、大全新能源、新疆新能源、晶龍集團、Pro-Q、光為、國電集團、京運通、七星華創(chuàng)、新天源、超日、*、中國表面物理與化學研究、成都光電、包頭山晟……等幾百家半導體和太陽能單位。
公司現(xiàn)有員工34人，大專本科以上學歷25人，研究生６人，博士１人，建筑面積3000m２。
近年來，公司的海外市場發(fā)展勢頭良好，產品出口到美國、歐洲、韓國、新加坡等國家地區(qū)，目前公司在和海外同行建立產品加工合作關系的同時還建立自己的代理商和銷售中心。
檢測儀器和產業(yè)耗材
藍寶石及碳化硅晶片平坦度及表面形態(tài)測試儀：FM-200 產品信息
