太陽(yáng)能電池行業(yè)在生產(chǎn)過(guò)程中產(chǎn)生的污染環(huán)境的氣體,常見(jiàn)的有用水清洗多晶硅硅料產(chǎn)生的有氮氧化物、vocs有機(jī)廢氣和硫酸霧。在此過(guò)程中會(huì)產(chǎn)生各種廢氣,如果直接排入大氣,會(huì)對(duì)環(huán)境和周邊人員健康造成很大影響,必須經(jīng)過(guò)尾氣處理設(shè)備凈化處理。
太陽(yáng)能電池板廢氣處理設(shè)備方案如下:
太陽(yáng)能電池行業(yè)在生產(chǎn)過(guò)程中產(chǎn)生的污染環(huán)境的氣體,常見(jiàn)的有用水清洗多晶硅硅料產(chǎn)生的有氮氧化物、vocs有機(jī)廢氣和硫酸霧。在此過(guò)程中會(huì)產(chǎn)生各種廢氣,如果直接排入大氣,會(huì)對(duì)環(huán)境和周邊人員健康造成很大影響,必須經(jīng)過(guò)尾氣處理設(shè)備凈化處理。
一、廢氣種類(lèi)及來(lái)源
目前太陽(yáng)能電池生產(chǎn)所產(chǎn)生的廢氣主要有酸堿排氣、有機(jī)排氣、硅烷氨氣排氣及熱排氣,都需要進(jìn)行尾氣處理設(shè)備處理后,廢氣達(dá)標(biāo)方可排入大氣中。其廢氣來(lái)源有以下幾個(gè)方面:
1. 酸性廢氣:主要來(lái)源來(lái)自太陽(yáng)能電池生產(chǎn)中的制絨和去磷硅玻璃工序產(chǎn)生的HF、NOx等酸性氣態(tài)污染物。
2. 擴(kuò)散廢氣:擴(kuò)散工序產(chǎn)生的廢氣主要是CL2。
3.刻蝕廢氣:刻蝕廢氣中的污染物主要為HF、CO2和少量的SiO2。
4.PECVD 廢氣:PECVD廢氣主要為未發(fā)生反應(yīng)的SiH4、NH3和反應(yīng)生成的H2。
5.印刷廢氣和燒結(jié)廢氣:印刷和燒結(jié)工序廢氣主要是由于漿料中的有機(jī)溶劑等物質(zhì)揮發(fā)的有機(jī)氣態(tài)物質(zhì),有機(jī)物的產(chǎn)生情況與漿料的成分、含量等因素密切相關(guān)。
二、太陽(yáng)能電池板廢氣處理設(shè)備處理方法
太陽(yáng)能電池板廢氣主要污染物有:硅烷廢氣、噴漆廢氣、酸性廢氣、有機(jī)溶劑揮發(fā)。對(duì)于不同的廢氣種類(lèi)所采用的廢氣處理方法不同,主要有以下幾種方法:
1. 吸收法
噴淋塔使氣體從氣態(tài)轉(zhuǎn)化為液態(tài)的過(guò)程稱(chēng)為化學(xué)吸收。通過(guò)噴淋塔內(nèi)部放置的多面球填料,可以使這一吸收的效率大大的提高,而多面球填料不但增大了氣液混合物的接觸面積,還極大的提高了吸收效率。其原理是噴淋塔采用藥水中和處理,廢氣通過(guò)噴淋塔,與其中的洗滌液發(fā)生中和反應(yīng)進(jìn)而吸收凈化;其中酸性氣體通過(guò)堿性洗滌液,堿性氣體通過(guò)酸性洗滌液。其工藝流程是廢氣由進(jìn)風(fēng)口流入,水平流過(guò)填料床,洗滌液垂直流過(guò)填料床,這種氣液逆流方式使廢氣與洗滌液充分作用,有效清除廢氣中的雜質(zhì)。洗滌液流入洗滌塔底部的污水槽,循環(huán)泵循環(huán)洗滌液,為了達(dá)到去除效率,在洗滌塔頂部的非固定式螺旋噴嘴為填料床提供均勻而連續(xù)的洗滌液。在洗滌塔的出口處,凈化過(guò)的氣體流過(guò)板式除霧器,除去空氣中的水霧。洗滌液的酸堿度通過(guò)加藥設(shè)施精確控制,使得廢氣中可溶性部分被洗滌液吸附,轉(zhuǎn)化成中性的液體后排放出洗滌塔。
2. 催化燃燒法
太陽(yáng)能電池板有機(jī)廢氣產(chǎn)生于硅切片廢線切割階段,電池片絲網(wǎng)印刷、燒結(jié)階段,主要成分為揮發(fā)性有機(jī)氣體,有機(jī)廢氣處理一般采用催化燃燒法。催化燃燒法是將廢氣在爐內(nèi)進(jìn)行分解,對(duì)有機(jī)廢氣進(jìn)行預(yù)處理操作后,將其通入爐體內(nèi),加熱到一定的溫度讓廢氣中的有機(jī)廢氣發(fā)生氧化還原反應(yīng),生成H2O和CO2排向大氣。
3.吸附法
吸附法是采用適當(dāng)?shù)奈絼?duì)廢氣中有機(jī)廢氣成分進(jìn)行物理吸附,適用于中、低濃度廢氣的凈化處理。