當(dāng)今是以集成電路技術(shù)為核心的數(shù)字信息時代，在集成電路制造的過程中會產(chǎn)生大量的有機(jī)污染物、無機(jī)污染物等有毒有害氣體。

集成電路行業(yè)廢氣介紹

主要來源：在集成電路制程工藝中，會經(jīng)常使用硫酸、鹽酸、顯影劑、光刻膠、清潔劑、蝕刻液，而產(chǎn)生大量的酸堿和有機(jī)廢氣。 

主要成分：

1. 有機(jī)廢氣：非甲烷總烴、氮氧化物、二氧化硫等；

2. 酸性廢氣：硫酸霧、氯化物、氯氣； 

3.堿性廢氣：氨氣、氟化物等； 

4.一般排氣：無害氣體。

主要危害：

1. 集成電路制程工藝經(jīng)常使用化學(xué)藥劑，如硫酸、鹽酸、氟氯化碳、四氯化碳、三氯乙烷及其他有機(jī)鹵化物，易造成對大氣環(huán)境的污染；

2. 在整機(jī)裝配過程中產(chǎn)生的機(jī)械噪聲和少量粉塵也會造成環(huán)境污染，這些污染氣體會造成人群慢性或急性中毒。

集成電路行業(yè)廢氣處理設(shè)備介紹

 常用的工業(yè)廢氣處理工藝有：酸堿中和法、活性炭吸附法、催化燃燒法、直接燃燒法、等離子法、吸收法、冷凝法等。 集成電路制造行業(yè)因廢氣性質(zhì)、成分不同，其廢氣處理處理方案也有所差異，結(jié)合工業(yè)廢氣處理工藝，集成電路行業(yè)廢氣處理方案主要有以下幾種：

1、集成電路酸堿性廢氣處理

 集成電路行業(yè)酸性廢氣處理方法，主要采用酸堿中和法，通過廢氣洗滌塔氣液交叉接觸，堿液噴淋洗滌即可凈化酸性廢氣。

2、集成電路有機(jī)廢氣處理

 集成電路行業(yè)有機(jī)廢氣處理方法，通常先用活性炭對VOCs進(jìn)行吸附濃縮之后，再用催化燃燒法進(jìn)行分解。

3、 一般排氣無需處理，直接排放即可。集成電路行業(yè)廢氣處理設(shè)備