Hysitron TI 980 納米壓痕儀

布魯克的 Hysitron TI 980 TriboIndenter 同時具有性能、靈活性、可靠性、可用性和速度。這臺行業(yè)的系統(tǒng)以數(shù)十年的 Hysitron 技術(shù)創(chuàng)新為基礎(chǔ)，在納米力學特性測試方面提供更高水平的非凡性能、增強的功能和的多功能性。Hysitron TI 980 納米壓痕儀是一臺的納米力學測試儀器，在準確控制、測試帶寬、測試靈活性、適用性、測量可靠性和系統(tǒng)模塊化方面都取得了顯著進步。

布魯克的 Hysitron公司的旗艦產(chǎn)品是全功能TI 980型納米力學測試系統(tǒng)，通過納米級位成像，實現(xiàn)了壓痕、劃痕和磨損過程的納米尺度原位可視化表征。Hysitron（海思創(chuàng)）應用其工藝超前的技術(shù)“三板電容傳導”，從源頭上保證了儀器穩(wěn)定性和靈敏度。使用Hysitron（海思創(chuàng)）納米力學材料檢測系統(tǒng)通過探針可以獲得材料微區(qū)的硬度、彈性模量、摩擦系數(shù)、磨損率、斷裂剛度、失效、蠕變、粘附力（結(jié)合力）等力學數(shù)據(jù)。不僅在微納米水平上開展力學行為特性的研究，還可以進行納米尺寸上的機械加工。TI 980 符合ISO納米壓痕檢測標準以及溫度濕度測量標準。

設(shè)備具有微納米尺度上的壓痕、劃痕、摩擦磨損和原位掃描探針成像功能；通過軟件直接實現(xiàn)連續(xù)更換不同實驗模式，具有高分辨率，高控制精度，高穩(wěn)定性的特點?？梢酝瓿晌?/span>/納米尺度上材料力學性能測試和表征，用于產(chǎn)品的研究和開發(fā)?？梢杂糜诰酆衔锊牧?、無機非金屬材料、金屬材料和生物材料的納米壓痕、納米劃痕、摩擦磨損等納米特性測試，獲得相關(guān)條件下的硬度、模量、蠕變、屈服、納米磨損性能、粘結(jié)失效、斷裂韌性等性能。

一、亮點

1）------精確控制和測試帶寬

提供的反饋控制和噪音水平，實現(xiàn)真正的定量納米機械和納米摩擦特性。

2）同步------多尺度和多技術(shù)測量

支持納米壓痕到微米壓痕、納米劃痕、納米摩擦磨損、動態(tài)納米壓痕、原位 SPM 成像和高速性能成像。

3）------靈活性和潛在表征能力

提供泛的創(chuàng)新表征技術(shù)，通用樣品安裝選項和模塊化系統(tǒng)架構(gòu)。

二、特點

1）您的特征表征潛力------強大的標準配置

* 原位 SPM 成像；

* 高分辨率光學成像；

* 2D 電容式傳感器；

* 計量級花崗巖；

* 主動防振隔離；

* Performech II 高級控制模塊；

* 環(huán)境隔離罩；

* 高速性能成像 （XPM；

* 動態(tài)納米壓痕（納米DMA III）；

* 模塊化系統(tǒng)架構(gòu)；

* 多功能樣品夾頭；

* 高精度樣品臺；

2）強大的納米力學和納米摩擦測試系統(tǒng)------測試模式

a）納米級動態(tài)機械分析nanoDMA III

*定量納米尺度深度分析與粘彈性特性測量

布魯克的納米DMA III（納米級動態(tài)機械分析）是一種強大的新型動態(tài)測試技術(shù)，用于進行納米級機械性能測量。nanoDMA III 配備了新開發(fā)的 CMX 控制算法，可真正連續(xù)測量機械性能，作為材料表面深度的函數(shù)。CMX 提供機械性能的定量和真正連續(xù)測量，包括硬度、存儲模量、損耗模量、復合模量和損耗角量，作為壓痕深度、頻率和時間的函數(shù)。

*強大的納米級動態(tài)特性

高帶寬傳感器和控制電子器件針對納米級動態(tài)測試進行了全面優(yōu)化，并提供業(yè)界的性能、靈敏度和廣泛的動態(tài)范圍。Hysitron 的耦合交流/直流力調(diào)制程序可實現(xiàn)真正的納米級機械特性，并且不會受到困擾其他納米級動態(tài)剛度技術(shù)的緩慢反饋響應時間。nanoDMA III 集成了的參考頻率技術(shù)，用于在實驗過程中進行熱漂移校正，從而能夠在納米尺度上可靠地執(zhí)行長時間的頻率掃描和蠕變測試。

b）定量、超高速機械性能映射------XPM

保守地，傳統(tǒng)的納米壓痕單點測量需要 90 秒，而 20x20 陣列需要 10 個小時才能完成。利用布魯克的新 Hysitron XPM 超快屬性映射，只需 1.1 分鐘即可編譯此數(shù)據(jù)集！

c）高分辨率的原位 SPM 成像

    * 納米精密測試放置精度

布魯克的原位 SPM 成像可提供與測試相同的長度刻度的成像分辨率，從而在納米尺度上實現(xiàn)真正定量和準確的表征。測試現(xiàn)場的預測試 SPM 成像可實現(xiàn)以納米分辨率直接測量表面形態(tài)（例如微結(jié)構(gòu)、地形、粗糙度），對于在測試前避免表面缺陷至關(guān)重要。高精度 ±10nm 測試位置精度簡化了多相材料的測試，并允許微結(jié)構(gòu)（如形狀、尺寸或域分布）與機械性能直接相關(guān)。此外，測試后 SPM 成像提供材料變形行為（如斷裂、堆積）的定量特征和測試位置的驗證。

    *分辨率高達 4096 x 4096

布魯克的 SPM® 將納米機械 SPM 成像功能更上一層樓。借助 SPM+，掃描尺寸和圖像分辨率可定制，以滿足您的特定樣本分析需求。

三、優(yōu)勢

保持您處于材料發(fā)現(xiàn)和開發(fā)的前沿

 TI 980 納米壓痕儀基于布魯克的 Performech II 高級控制模塊，在精確控制和測試帶寬、測試靈活性、適用性、靈敏度、測量可靠性和系統(tǒng)模塊化方面取得了顯著進步。TI 980 強大的基礎(chǔ)配置包括定量納米壓痕和微米壓痕、納米劃痕、納米摩擦磨損、高分辨率原位掃描探針顯微鏡 （SPM） 成像、動態(tài)納米壓痕和高速性能成像等，全面了解納米級材料行為。

 自動化的簡單和速度

Hysitron TI 980 納米壓痕提供快速、多樣品和多技術(shù)自動化測試功能，實現(xiàn)高通量表征。智能自動化程序以用戶定義的周期自動驗證探頭形狀，其高分辨多尺度成像和全樣本光學掃描簡化了測試過程。

 面向未來的表征潛力

TI 980 納米壓痕是在開發(fā)時基于的靈活性，了解您目前的需求可能會在將來有所不同。TI 980 支持泛的相關(guān)納米力學表征技術(shù)，有望讓您的研究和材料開發(fā)工作始終處于技術(shù)前沿。TI 980 納米壓痕儀還帶有多功能系統(tǒng)控制和數(shù)據(jù)分析軟件、通用樣品安裝平臺（機械、磁性和真空）以及模塊化環(huán)境隔離罩相結(jié)合，將適應您未來的表征要求。

四、特色選項和附加組件

1） xSol 環(huán)境控制腔與載臺------環(huán)境控制腔實現(xiàn)了定量納米力學性能和納米摩擦學特征隨著溫度、氣氛和濕度的變化。

2）nanoECR ------納米壓痕測試的原位導電特性可以和納米力學性能，材料形變行為和接觸電阻等同步研究。

3）xProbe------基于 MEMS 傳感器的探針可以實現(xiàn)原子力顯微鏡級別的超低力和位移噪音水平。

4）iTF ------的原位薄膜力學性能分析包提供了排除基底效應影響的薄膜和多層膜結(jié)構(gòu)的定量力學性能。、

5）3D OmniProbe 和多量程NanoProbe------通過擴展力和位移測量量程實現(xiàn)微米尺度的力學和摩擦學特性表征

6）同步拉曼光譜------原位研究力學性能和摩擦學特性與材料結(jié)構(gòu)和化學成分的相關(guān)性。

7）熒光顯微鏡聯(lián)用------集成熒光顯微鏡可實現(xiàn)熒光共定位納米力學測試等。

8）電化學模塊------實現(xiàn)氧化和還原環(huán)境下的原位定量納米力學和納米摩擦學行為研究。

9）自動探針更換模塊------按鈕操作的自動探針更換模塊。

10）樣品臺------ 多尺度的磁性、機械和真空固定方式可以固定幾乎所有待測樣品，包括 300mm 晶圓。

11）TriboAE™------ 聲音傳感器能通過針尖原位監(jiān)測納米壓痕過程中的斷裂和形變產(chǎn)生的聲音信號。

12）TriboImage™------納米尺度劃痕/磨損的實時表征。

13）模量成像------動態(tài)掃描納米壓痕模式提供材料表面的定量、高分辨模量分布。

 五、相關(guān)圖片

1）布魯克的Hysitron TI 980 nanoindenter 提供業(yè)界的噪聲水平，用于接近納米尺度的定量表征，并且具有超快的反饋控制，從而對測試過程進行準確的控制

2)  布魯克的Hysitron TI 980 可實現(xiàn)多測頭同時測量。使用任意組合的兩個傳感器進行無縫測試，實現(xiàn)優(yōu)化

3）陶瓷材料模量成像結(jié)果由 67 秒內(nèi)的 400 次XPM快速測量獲得