功能特點 |
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- 采用氣體作為清洗介質,避免了因液體清洗介質對被清洗物帶來的二次污染。。
- 可短時間內清洗掉有機污染物。
- 清洗程度可達到分子級。
- 可在特定條件下根據需要改變某些材料表面的性能。
- 清洗過程中的輝光放電可對某些特殊用途的材料加強粘附性、相容性和浸潤性,并可消毒和殺菌。
- 樣品臺可選配加熱功能,可加負偏壓,用以實現離子蝕刻。
- 廣泛應用于光學、光電子學、電子學、材料科學、生命科學、高分子科學、生物醫(yī)學、微觀流體學等領域。
技術參數 | |
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電壓 | AC220V 10A |
消耗功率 | <500W(包括真空泵) |
RF電源 | 輸出功率100W,輸出頻率13.56MHz |
腔體 | Φ190mm×98mm |
細節(jié)圖 | |
石英管 | Φ180mm×55mm,壁厚7mm |
內腔 | Φ165mm×55mm |
清洗電極 | Φ120mm |
樣品臺 | Φ150mm,有效尺寸Φ140mm |
樣品臺與電極間距 | 15mm-50mm可調 |
抽氣管 | Φ12mm |
極限真空度 | 0.1Pa |
工作真空度 | 60Pa-500Pa |
氣路數量 | 2路(選裝) |
流量控制器數量 | 1、2 |
流量顯示儀 | 2通道 |
氣路接口 | Φ6mm |
加熱樣品臺 | Φ140mm,加熱樣品溫度RT-600℃±1℃(選裝) |
冷卻水壓力 | 0.2KPa-0.4KPa |
工作環(huán)境 | 溫度5℃-35℃,濕度<80%(相對濕度)不結露,海拔高度0-2000m |
尺寸 | 245mm×235mm×460mm(不含真空泵) |
重量 | 20kg(不含真空泵) |
可選配置 | ● 加熱樣品臺 ● 流量控制器(量程10、50、100,多可增加2個通道) |