- 石英圓形真空腔體,腔體處理溫度低,避免長時間等離子處理造成的腔體溫度過高,確保對樣品表面沒有造成熱影響。
- 電源:采用電源電路技術(shù),產(chǎn)生高密度等離子體,確保出眾的清洗效果,頻率13.56MHZ,功率0-600W連續(xù)調(diào)節(jié),自動阻抗匹配。
- *放電技術(shù):特殊處理及特殊結(jié)構(gòu)的放電裝置,確保形成穩(wěn)定均勻的等離子體。
- 密封性的真空腔體設(shè)計:級的高真空度真空腔體設(shè)計及制造工藝,并配置進口技術(shù)真空泵運行。
- 高精度氣體流量監(jiān)測系統(tǒng),兩種工藝氣體配置(氬氣、氧氣),雙路氣流控制,, 比例可調(diào),采用高精度浮子流量計、美國世維洛克氣體管路及閥件。
- 自主研發(fā)的低壓(真空)等離子清洗機軟件系統(tǒng),性能穩(wěn)定可靠,操作簡單,便于維護,高效便捷。
- 強大的全面安全防護系統(tǒng):溫度安全防護功能,過載防護功能,短路斷路報警防護 功能,各種誤操作保護功能。
- 優(yōu)質(zhì)產(chǎn)品部件:產(chǎn)品部件采用國內(nèi)外優(yōu)質(zhì)品牌,確保設(shè)備性能*。
- 數(shù)字計時單元:0~99.9小時選擇范圍時間顯示,處理過程結(jié)束后自動終止
- 精密數(shù)控加工:進口精密CNC數(shù)控機床加工工藝,并經(jīng)過進口三坐標測量儀進行質(zhì) 量監(jiān)控。
- 適用形狀復(fù)雜樣品:清洗各種復(fù)雜形狀的產(chǎn)品,包括內(nèi)孔內(nèi)壁,*均勻清洗。
- 處理全程無污染 ,等離子清洗機本身是很環(huán)保的設(shè)備,無產(chǎn)生任何污染,處理過程也無產(chǎn)生任何污染??梢耘c原有生產(chǎn)流水線搭配,實現(xiàn)全自動在線生產(chǎn),節(jié)約人力成本。
技術(shù)參數(shù) | |||
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型號 | 數(shù)量 | 品牌 | PCE-05參數(shù) |
機身 | 一套 | 自產(chǎn) | 600(W)×400(D)×310(H)mm |
腔體 | 一套 | 石英真空腔體 | 直徑160*200mm |
真空泵 | 一組 | 飛越 | 4L/S |
角閥 | 一套 | 北儀 | 超高真空40KF |
流量控制器 | 二套 | Sevenstar華創(chuàng) | 0-300mL/m |
射頻電源 | 一套 | (13.56MHz) | 300W |
PLC | 一套 | 三菱 | 包括PLC,A/D模組兩組 D/A模塊兩組溫度模塊 |
電氣系統(tǒng) | 一套 | 三菱 | 接觸器,繼電器,屏蔽器等 |
觸摸屏 | 一套 | 威綸 | 4.3寸 |
陶瓷封裝 | 一套 | 進口 | 高頻陶瓷 |
電源 | 1 | 自產(chǎn) | 220V/50Hz |