系統(tǒng)集成了一對(duì)共焦色差位移傳感器(納米分辨率),采用單點(diǎn)非接觸式測量,配合高速X/Y/Z多軸坐標(biāo)運(yùn)動(dòng),可以同時(shí)采集單個(gè)鏡片或微鏡頭前后表面和基準(zhǔn)面的3D形狀點(diǎn)云得到相應(yīng)的幾何特征。不僅可以測量旋轉(zhuǎn)對(duì)稱的樣品,還可測量更復(fù)雜的非軸對(duì)稱或自由曲面樣品,樣品的直徑可達(dá)到50mm(外徑75mm)。
根據(jù)透鏡直徑和三維點(diǎn)云采樣密度的不同,透鏡每個(gè)表面的測量時(shí)間范圍是30秒到4分鐘 。(30-240秒)
應(yīng)用
CUBE系統(tǒng)是專門為車間的品控設(shè)計(jì)的,針對(duì)拋光、模壓和金剛石車削的光學(xué)元件的快速檢驗(yàn),包括紅外材料和金屬。這個(gè)系統(tǒng)的另一個(gè)優(yōu)勢是能在單個(gè)測量序列中完成多個(gè)較小的透鏡或透鏡陣列的測量。
測量的幾何特征包括:
1. 相對(duì)于中心軸,前后表面頂點(diǎn)的偏移
2. 相對(duì)于水平基準(zhǔn),前后表面的楔角
3. 前后表面的總體厚度變化(TTV)
4. 前后表面矢高與表面面形
? 緊湊,帶隔離箱的臺(tái)式設(shè)計(jì)
? 雙共焦色差傳感器(8kHz)、單點(diǎn)、非接觸、可見光測量
? 振動(dòng)不敏感,穩(wěn)定的殷鋼框架
? 納米級(jí)編碼X/Y/Z多軸坐標(biāo)運(yùn)動(dòng),以磁驅(qū)直線電機(jī),采用交叉滾子軸承,在50mmx50mm x50mm的范圍內(nèi),完成快速柵格或螺旋掃描
? 精密自定心夾具,快速裝卸樣品
? 夾具同時(shí)適用于75mm外徑的光學(xué)元件和微透鏡陣列
? 簡單方便的QuickPro操作和數(shù)據(jù)采集軟件,擁有傳感器優(yōu)化設(shè)置、數(shù)據(jù)采集、自動(dòng)定心和坐標(biāo)運(yùn)動(dòng)功能
? CalcuSurf-3D 視圖分析軟件,用于觀察分析多表面的三維點(diǎn)云數(shù)據(jù)
系統(tǒng) | |||
尺寸(長/寬/高) | 500mm/500mm/500mm | ||
重量 | 30kg | ||
系統(tǒng)控制 | 電源,運(yùn)動(dòng)控制,傳感器控制 | ||
電源 | |||
運(yùn)動(dòng)控制 | |||
運(yùn)動(dòng)范圍 | 50mm x50mm x50mm | ||
編碼器分辨率(X/Y/Z) | 5nm/5nm/1nm | ||
驅(qū)動(dòng)形式 | 磁驅(qū)直線電機(jī) | ||
軸承形式 | 交叉滾子軸承 | ||
平整度 | 1um/50mm | ||
樣品尺寸 | 外徑75mm | ||
載重 | 2kg | ||
傳感器 | |||
技術(shù) | 色差共聚焦 | ||
應(yīng)用 | 距離,偏心,楔角,矢高,厚度 | ||
采樣 | :4000點(diǎn)/秒 | ||
可選測頭 | 0.2mm | 1mm | 4mm |
橫向分辨率 | 1.5um | 2.5um | 4um |
工作距離 | 5mm | 16mm | 37mm |
軸向分辨率 | 10nm | 50nm | 150nm |
軸向精度 | 50nm | 100nm | 500nm |
斜率 | ±45° | ±28° | ±20° |
測量精度 | |||
平移偏心 | ≤5um | ||
傾斜偏心 | ≤10arcsec | ||
矢高誤差 | ≤0.5um | ||
厚度(S1-S2) | ≤5um |