環(huán)保在線>產(chǎn)品庫(kù)>實(shí)驗(yàn)室儀器設(shè)備-熱搜分類(lèi)>制樣設(shè)備>刻蝕機(jī)>>Mattson刻蝕機(jī)Asher設(shè)備 Aspen 3 Lite

Mattson刻蝕機(jī)Asher設(shè)備 Aspen 3 Lite

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公司名稱青島佳鼎分析儀器有限公司
品牌
型號(hào)
所在地
廠商性質(zhì)其他
更新時(shí)間2023/6/21 18:58:09
訪問(wèn)次數(shù)302

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公司介紹主營(yíng)產(chǎn)品

青島佳鼎實(shí)驗(yàn)室，坐落于城之向陽(yáng)地——城陽(yáng)。自2011年成立之初，便誓將科技之光照耀四方。
十年的時(shí)間里，公司因擴(kuò)展數(shù)度搬遷，最后選擇接受博士創(chuàng)業(yè)園的吸納并安家落戶。與此名交相輝映的是我們30余人的研發(fā)團(tuán)隊(duì)，也是以博士后為主。這就為我們今后的發(fā)展奠定了堅(jiān)實(shí)的基礎(chǔ)，使我們?cè)谖磥?lái)的發(fā)展中，有底氣的大踏步前進(jìn)。目前，佳鼎實(shí)驗(yàn)室已經(jīng)形成了一站式服務(wù)，不僅有實(shí)驗(yàn)室分析儀器設(shè)備的研發(fā)和銷(xiāo)售，更有實(shí)驗(yàn)室的整體交付。做到了初時(shí)毛坯，再見(jiàn)時(shí)嚴(yán)謹(jǐn)整潔，隨時(shí)可以為人類(lèi)健康貢獻(xiàn)自己的力量。
產(chǎn)品服務(wù)于各行各業(yè)，從科研機(jī)構(gòu)到環(huán)境、食品，從醫(yī)藥生物到電子電器。我們從不止步于國(guó)內(nèi)，放眼，我們聯(lián)合了包括美國(guó)賽默飛世爾、日本島津、在內(nèi)的多國(guó)實(shí)驗(yàn)室，并且積累了大量的科研資料，在分析設(shè)備的研發(fā)領(lǐng)域做了大量的深度工作。
佳鼎實(shí)驗(yàn)室堅(jiān)信以質(zhì)量為生命，以客戶為中心的經(jīng)營(yíng)理念，為打造實(shí)驗(yàn)室建設(shè)規(guī)范化而不斷奮斗。

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介在線詢價(jià)

AspenIII基于具有接地法拉第屏蔽的專有ICP源設(shè)計(jì)，為半導(dǎo)體制造商提供經(jīng)過(guò)生產(chǎn)驗(yàn)證且具有成本效益的剝離和蝕刻解決方案

Mattson刻蝕機(jī)Asher設(shè)備 Aspen 3 Lite 產(chǎn)品信息

Aspen III 基于具有接地法拉第屏蔽的專有 ICP 源設(shè)計(jì)，為半導(dǎo)體制造商提供經(jīng)過(guò)生產(chǎn)驗(yàn)證且具有成本效益的剝離和蝕刻解決方案。Aspen III 的平臺(tái)設(shè)計(jì)可處理 200 毫米和 300 毫米晶圓，并支持特殊晶圓處理，包括翹曲和半透明晶圓。的工藝室架構(gòu)可以滿足業(yè)內(nèi)的設(shè)備制造商跨多個(gè)技術(shù)節(jié)點(diǎn)的技術(shù)要求。

產(chǎn)品特點(diǎn)：

平臺(tái)
- 200 mm / 300 mm 橋接工具
- 玻璃/石英/半透明晶圓處理
- 翹曲 (> 5 mm) 晶圓處理
- 雙晶圓室設(shè)計(jì)，獨(dú)立晶圓控制
- 單或雙工藝室選項(xiàng)
- 高速機(jī)器人
- 真空負(fù)載鎖
- 安裝了 500 多個(gè)系統(tǒng)
ICP HT / Strip 處理室
- 專有法拉第屏蔽ICP源
- 還原和氟化學(xué)能力
- 耗材成本低
LiteEtch 工藝室
- 高濃度氟工藝的各向同性蝕刻
- 耐氟室設(shè)計(jì)
eHighlands 蝕刻和剝離工藝室
- 偏置能力
- 低溫（10°C 至 80°C）能力
- 低壓（5 mT 至 300 mT）能力