二手刻蝕機(jī)現(xiàn)貨TOKYO OKA/TOK TCE-3822,2011年設(shè)備,可對尺寸為5英寸的晶圓進(jìn)行蝕刻工藝處理。
制造商:TOKYO OKA / TOK
型號:TCE-3822
分類:ETCHERS / ASHERS
年份:2011
設(shè)備詳細(xì)信息:
Etcher, 5"
主體:
(2) Chambers with control rack
KYOSAN MAK5 Matching controller
Leakage detector (WR-NA)
RF Power supply, 1 kW
電源: 200 V, 125 A, 3-Phase, 60 Hz
2011年.