產(chǎn)品特性:
- 可在一臺(tái)儀器上實(shí)現(xiàn)納米尺度、微米尺度及大載荷尺度下的壓痕、劃痕與摩擦測(cè)試
- 壓痕、劃痕與摩擦磨損符合ASTM及ISO的國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)
- 模塊化設(shè)計(jì):可根據(jù)客戶(hù)需求任意選擇納米/微米/大載荷模塊的壓痕/劃痕/磨損功能
- 磚利的設(shè)計(jì)可保證系統(tǒng)具有高穩(wěn)定性與高的精度
- 可拓展性強(qiáng):可隨意升級(jí)已有設(shè)備到多種測(cè)試功能
技術(shù)參數(shù):
- 工作臺(tái)自動(dòng)控制范圍:150 mm×150mm
- Z方向自動(dòng)移動(dòng)范圍:50mm
- 工作臺(tái)定位精度:1μm
- 光學(xué)顯微物鏡:5X,10X,20X,50X,100X可選
- 總放大倍數(shù):200X, 400X, 800X,2000X200X, 4000X可選
- 納米壓痕儀/納米劃痕儀/納米摩擦磨損儀
- 微米壓痕儀/微米劃痕儀/微米摩擦磨損儀
- 大載荷壓痕儀/大載荷劃痕儀/大載荷摩擦磨損儀
可選件:
- 測(cè)量模塊:客戶(hù)需要自己選擇納米模塊、微米模塊與大載荷模塊其中之一
- 光學(xué)鏡頭:客戶(hù)需要自己選擇光學(xué)鏡頭的個(gè)數(shù)與倍率
- 原子力顯微鏡
產(chǎn)品應(yīng)用:
- 薄膜及超薄膜(金屬膜、陶瓷膜、Low k 膜、多層復(fù)合膜等)
- 復(fù)合材料(樹(shù)脂基、陶瓷基、金屬基、纖維增強(qiáng)材料表面及界面等)
- 聚合物 (共混物、共聚物等)
- 生物及仿生材料(細(xì)胞、骨組織、血管、牙齒、支架等)
- 金屬及合金(晶面/晶界/組織相、金屬玻璃、稀土等)
- MEMS (微懸臂、微鏡、微泵等)
- 陶瓷材料
- 電子及半導(dǎo)體(硅片、藍(lán)寶、硬脆及軟脆材料等)