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行業(yè)產(chǎn)品

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鄭州科佳電爐有限公司


旋轉(zhuǎn)PECVD系統(tǒng)

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產(chǎn)品型號(hào)KJ-T1200-S80-DZPECVD-R

品       牌

廠商性質(zhì)生產(chǎn)商

所  在  地

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更新時(shí)間:2022-09-01 17:11:47瀏覽次數(shù):163次

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

產(chǎn)品用途:PECVD系統(tǒng)是借助射頻使含有薄膜組成原子的氣體電離,在局部形成等離子體,而等離子體化學(xué)活性很強(qiáng),很容易發(fā)生反應(yīng),在基片上沉積出所期望的薄膜

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品用途:
PECVD系統(tǒng)是借助射頻使含有薄膜組成原子的氣體電離,在局部形成等離子體,而等離子體化學(xué)活性很強(qiáng),很容易發(fā)生反應(yīng),在基片上沉積出所期望的薄膜。 該系統(tǒng)廣泛應(yīng)用于沉積高質(zhì)量、SiO2薄膜、Si3N4薄膜、SiC薄膜、硬質(zhì)薄膜、光學(xué)薄膜和炭納米管(CNT)、石墨烯材料等
,是科研機(jī)構(gòu)和大學(xué)實(shí)驗(yàn)室的理想產(chǎn)品。

產(chǎn)品介紹:
該設(shè)備是一款定制的PECVD系統(tǒng),增加了傾斜、旋轉(zhuǎn)功能。該系統(tǒng)包含等離子射頻電源,高溫管式爐,4通道質(zhì)量流量供氣系統(tǒng)和分子泵機(jī)組??捎糜谏L(zhǎng)納米或石墨烯材料。

技術(shù)參數(shù):

產(chǎn)品名稱定制旋轉(zhuǎn)PECVD系統(tǒng)
滑軌管式爐部分
產(chǎn)品型號(hào)KJ-T1200-S80-DZPECVD-R
爐管尺寸80*長(zhǎng)度1600mm
可選其他直徑Φ50,60,80,100,120,150mm
爐管材質(zhì)石英管
加熱區(qū)單溫區(qū),溫區(qū)長(zhǎng)度400mm
工作溫度1100℃
溫度1200℃
溫控方式K型熱電偶
控制方式觸屏控制
控溫精度±1℃
溫控保護(hù)具有超溫和斷偶保護(hù)功能
升溫速率0-20ºC/min可調(diào)  ,建議10ºC/min
加熱元件含鉬電阻絲
工作電壓AC 220V 單相 50HZ (電路電壓用戶可選擇定制)
加熱功率3KW
爐膛材料氧化鋁多晶纖維
法蘭接頭標(biāo)配配有不銹鋼真空法蘭,已安裝機(jī)械壓力表和不銹鋼截止閥
密封系統(tǒng)該爐爐管與法蘭之間采用硅膠O型圈擠壓密封、撤卸方便、可重復(fù)撤卸,磁流體密封,氣密性好可實(shí)現(xiàn)爐管旋轉(zhuǎn)過程中的高真空。
真空系統(tǒng)部分
主要參數(shù)采用高真空分子泵組,爐管內(nèi)真空度可達(dá)10-3pa
氣路系統(tǒng)部分
名稱四路質(zhì)量流量計(jì)(量程可選)
等離子電源部分
功率范圍0-500W(連續(xù)可調(diào))
售后服務(wù)質(zhì)保一年,終身保修(耗材類:高溫密封圈、爐管、加熱元件等及人為損壞不屬于質(zhì)保范圍)
更多規(guī)格可根據(jù)客戶需求定制
 

 

 

售后服務(wù)

 

 1、我公司對(duì)所供設(shè)備提供質(zhì)保一年保修服務(wù)(易損件除外),在保修期內(nèi)因設(shè)備質(zhì)量原因造成的設(shè)備損壞或故障,均予以免費(fèi)維修。保修期滿后,仍提供終身的、優(yōu)質(zhì)的維修服務(wù)。
 2、在設(shè)備使用過程中如遇故障的,我公司將盡快做出處理方案,確保設(shè)備正常運(yùn)行。
 3、我公司設(shè)提供免費(fèi)的設(shè)備操作培訓(xùn)和簡(jiǎn)單故障排除維修培訓(xùn)。
 4、我公司技術(shù)人員可提供(產(chǎn)品安裝調(diào)試、整機(jī)維護(hù)、技術(shù)講解及操作指導(dǎo)等)。
 5、本公司可提供運(yùn)輸服務(wù),包裝方式均按照標(biāo)準(zhǔn)安全包裝進(jìn)行。隨機(jī)技術(shù)資料齊全(用戶手冊(cè)、保修手冊(cè)、有關(guān)資料及配件、隨機(jī)工具等)。
 6、本公司所有產(chǎn)品均有歐盟CE質(zhì)量認(rèn)證。

 

 


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