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產(chǎn)地	進(jìn)口	冷卻方式	水冷式
儀器種類	分體式

sscooling半導(dǎo)體冷水機(jī)組ThermoRack 1801

1，800 瓦的冷卻能力 – 在相同的 50U 機(jī)架式機(jī)箱中，容量比 ThermoRack 1201 高 5%
±0.05°C 溫度穩(wěn)定性/重復(fù)性
工作溫度范圍：-20°C 至 80°C
專為非?？焖俚捻憫?yīng)而設(shè)計(jì)
提供標(biāo)準(zhǔn)高流量、中流量和低流量配置
減少晶圓間的變化，消除晶圓效應(yīng)
比基于壓縮機(jī)的冷水機(jī)組節(jié)能高達(dá) 80%
采用熱電技術(shù)，可靠性高，維護(hù)成本低

設(shè)計(jì)簡(jiǎn)單 – 只有 2 個(gè)活動(dòng)部件
消除氟利昂和其他有害制冷劑，符合新的環(huán)境法規(guī)
使用更少的設(shè)施水和昂貴的冷卻劑，如氟惰性或高登
緊湊的尺寸：多達(dá) 6 個(gè) TR1801 系統(tǒng)適合 1 臺(tái)壓縮機(jī)冷水機(jī)組的空間
通信接口可用于 AMAT、LAM、TEL 和 Hitachi 系統(tǒng)
通用電源 – 插入即可在世界任何地方使用
等離子刻蝕、等離子灰、CMP 和其他工藝的解決方案

sscooling半導(dǎo)體冷水機(jī)組ThermoRack 1801

規(guī)格

工作范圍：

-20°C 至 80°C（需要 N2/CDA）
LT 在低于 0°C 時(shí)需要選件

環(huán)境溫度：

10°C 至 40°C 無(wú)冷凝

穩(wěn)定性/可重復(fù)性：

恒定負(fù)載下± 0.05°C（即使在接近環(huán)境溫度時(shí)）

制冷量*：

1，600-2，000 瓦 @ 20°C，20°C 設(shè)施用水
，具體取決于冷板和工藝流體

加熱能力**：

3，000-3，400 瓦 @ 20°C，20°C 設(shè)施用水
，具體取決于冷板和工藝流體

冷卻液/工藝流體：

氟惰性/高登/HFE或水/乙二醇

工藝流體接頭：

1/2“ 世偉洛克 1/2" 世偉洛克（316 不銹鋼）

泵：

無(wú)刷直流磁力驅(qū)動(dòng)離心機(jī)

流量：

（參見(jiàn)泵曲線）

油箱容積：

5.7 升（1.5 加侖），帶 2 個(gè)液位傳感器

設(shè)施用水：

8-12 升/分鐘（2-3 加侖/分鐘）@ 10-35°C 過(guò)濾、處理過(guò)的再循環(huán)設(shè)施冷卻水，pH 6.5 至 8.2

設(shè)施水配件：

1/2“ 世偉洛克（316 不銹鋼）

N2/CDA （必需）：

500 sccm -30°C 露點(diǎn)或更低的 CDA 或 N2，
30-60 psig （2-4 bar），用于低溫操作

接液材料：

工藝：鋁，不銹鋼和聚合物設(shè)施
：密封硬質(zhì)陽(yáng)極氧化鋁
和不銹鋼

尺寸（寬 x 深 x 高）：

19 英寸 x 24 英寸 x 8.7 英寸 5U（48 厘米 x 61 厘米 x 22 厘米）

重量：

70 磅（31 千克）

電源輸入：

200-240 VAC 1 相，50/60 Hz，最大 10 A

斷路器：

16 安培 200-250 VAC 2 極，帶 30 mA GFCI

遠(yuǎn)程EMO：

外部干接點(diǎn)

通信：

泛林，應(yīng)用材料公司， RS232，其他

警報(bào)：

溫度、液位、系統(tǒng)或組件
故障（顯示、干接點(diǎn)和機(jī)器接口）

標(biāo)準(zhǔn)：

半 S2-0200，符合 F47 標(biāo)準(zhǔn)，CE

保證：

2 年

*注意：冷卻能力會(huì)因配置和設(shè)施而異水溫/流速

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