一、概述
MF4000系列氣體質(zhì)量流量計是專為管徑為3mm~8mm的氣體管路中的低速氣流的流量計量而設(shè)計。螺紋與各種快速
接口可輕松實現(xiàn)機械接口轉(zhuǎn)換，滿足用戶多種氣體管路的要求，該產(chǎn)品可用于過程控制、大氣采樣等各種工業(yè)應(yīng)用。
MF4003，管道內(nèi)徑為3mm，測量范圍到5SLPM；適用于粒子計數(shù)器和各類分析儀器。
MF40008，管道內(nèi)徑為8mm，測量范圍到50SLPM；可用于氣體測量和控制設(shè)備、*、環(huán)境檢測儀、大氣采樣器和各類分析儀器。
二、MF4000系列氣體質(zhì)量流量傳感器的特點：
專為管徑為3mm-8mm的氣體管路中低速氣流的流量計量而設(shè)計，進行流體數(shù)據(jù)統(tǒng)計記錄
各種連接方式，易于安裝與使用
輸出方式靈活 既可通過通訊接口主動上傳數(shù)據(jù) ，
在*電子表上具有表現(xiàn)或由上位機查詢輸出數(shù)據(jù)，也可通過模擬接口輸出線性的模擬電
LED顯示瞬時流量和累計流量，允許現(xiàn)場用按鍵配置流量計參數(shù)
可記錄自上電以來瞬時流量的值和最小值 具有超量程功能 ，
全量程高穩(wěn)定性、高精度和優(yōu)良的重復(fù)性
三、MF4000系列氣體質(zhì)量流量傳感器的機械尺寸

四、MF4003/08系列氣體質(zhì)量流量傳感器技術(shù)參數(shù)

參數(shù)	MF4003 MF4008	單位
通徑	3 8	mm
流量	2,3,4,5, 10,20,30,40,50	SLPM
量程比	100:1
精度	±（1.5+0.2FS）	%
重復(fù)性	0.25	%
零點輸出漂移	±30	mV
輸出漂移	±0.12	%/℃
響應(yīng)時間	10（默認，可設(shè)置20,50,100,200，500,1000）	ms
工作電源	8~24VDC，50mA
輸出方式	線性：RS232/RS485/模擬電壓0.5~4.5VDC
顯示方式	4位7段LED數(shù)碼管顯示，2個指示燈
指示單位	瞬時流量SLPM;累計流量SL
顯示分辨率	0.001，,001,0.1可設(shè)置 0.01,0.1可設(shè)置	SLPM
流量壓損	100 600	Pa
工作壓力	≤0.5	MPa
工作溫度	-10~+55	℃
儲存溫度	-20~+65	℃
工作濕度	＜95%RH（無結(jié)冰，無凝霜）
機械接口	BSPT1/4（R1/4）,4mm,6mm,8mm快速接頭
鍵盤	三個按鍵
引出線	5針插座，南士CD R-5
校準方式	空氣（20℃，101.325KPa）
重量	55（帶BSPT1/4（R1/4）接頭） 74（帶4mm,8mm快速接頭） 71（帶6mm快速接頭）	g

備注： 1，模擬輸出為傳感器的標準輸出，用戶可以根據(jù)不同需求選擇RS232或RS485輸出；
，以上參數(shù)在為 20℃，101.325KPa下測得