污水處理設(shè)備 污泥處理設(shè)備 水處理過濾器 軟化水設(shè)備/除鹽設(shè)備 純凈水設(shè)備 消毒設(shè)備|加藥設(shè)備 供水/儲(chǔ)水/集水/排水/輔助 水處理膜 過濾器濾芯 水處理濾料 水處理劑 水處理填料 其它水處理設(shè)備
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更新時(shí)間：2022-08-01 11:30:05瀏覽次數(shù)：349次
聯(lián)系我時(shí)，請告知來自 環(huán)保在線應(yīng)用范圍：? · 去除光刻膠 · 晶圓打膠 · 濕法刻蝕前的晶圓清潔 · 去除 SU-8 · 清潔和表面活化 · 化學(xué)微量分析中的低溫材料灰化 · 過濾器和濾膜的清潔 · 環(huán)氧樹脂去除
等離子去膠機(jī)是深圳金徠針對小體積產(chǎn)品，小批量生產(chǎn)和實(shí)驗(yàn)室晶圓處理設(shè)計(jì)，適用于晶圓級和3D封裝應(yīng)用的理想設(shè)備。等離子應(yīng)用包括預(yù)處理、灰化/光刻膠/聚合物剝離、有機(jī)污染去除等。
產(chǎn)品規(guī)格
型號 | JL-RR05 | JL-RR10 | JL-RR15 |
高頻輸出功率 | 500W | 500W | 1000W |
頻率 | 13.56MHz | 13.56MHz | 13.56MHz |
檢測功能 | 氣壓檢測、 門檢測 | 氣壓檢測、 門檢測 | 氣壓檢測、 門檢測 |
真空泵 | 干式真空泵 | 干式真空泵 | 干式真空泵 |
氣體控制 | 高精度質(zhì)量流量計(jì)(MFM) | 高精度質(zhì)量流量計(jì)(MFM) | 高精度質(zhì)量流量計(jì)(MFM) |
質(zhì)量流量計(jì)精度 | +/-0.2% F.S | +/-0.2% F.S | +/-0.2% F.S |
冷卻方式 | 風(fēng)冷 | 風(fēng)冷 | 風(fēng)冷 |
反應(yīng)腔 | 石英 D160× 220 mm | 石英 D240× 260 mm | 石英 D240× 460 mm |
反應(yīng)氣體 | 3 路系統(tǒng)（可選） | 3 路系統(tǒng)（可選） | 3 路系統(tǒng)（可選） |
氣體流量 | 0~300SCCM | 0~300SCCM | 0~500SCCM |
外形尺寸 | 438× 520× 760mm | 438× 520× 760mm | 650× 650× 650mm |
重量 | 約 60kg | 約 60kg | 約 70kg |
輸入電源 | 單相 220V， 50/60Hz 8A | 單相 220V， 50/60Hz 8A | 單相 220V， 50/60Hz 8A |
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