產(chǎn)品簡介:
EVG 620BA是一款半自動(dòng)研發(fā)型鍵合對(duì)準(zhǔn)設(shè)備,采用雙面光學(xué)對(duì)準(zhǔn),擁有全自動(dòng)高分辨率底部攝像頭,適合于EVG501、EVG510、EVG520鍵合機(jī)的鍵合對(duì)準(zhǔn)。
主要特點(diǎn)及參數(shù):
·支持6英寸(150mm)晶圓
·支持2層或3層晶圓堆疊對(duì)準(zhǔn)
·對(duì)準(zhǔn)精度:
底部對(duì)準(zhǔn)精度≤±2μm 3σ
透明對(duì)準(zhǔn)精度≤±1μm 3σ
·可選配紅外對(duì)準(zhǔn)
·可升級(jí)至自動(dòng)對(duì)準(zhǔn)