CT-NANO是一款多功能X射線顯微鏡基于電子顯微鏡技術(shù)并使用X射線源。
CT-NANO具有納米CT測(cè)量功能,可直接轉(zhuǎn)換檢測(cè)器和尺寸優(yōu)化的視場(chǎng),樣品室內(nèi)設(shè)置高精度機(jī)械手,確保檢測(cè)目標(biāo)的移動(dòng)。適用于材料科學(xué)、半導(dǎo)體、石油、天然氣、生命科學(xué)、工業(yè)等領(lǐng)域。
它提供的體素尺寸范圍為30nm至10μm,幾何放大倍率高達(dá)50nm(FWHM),光子能量為30keV。EDS檢測(cè)器在樣品的XRF信號(hào)和CT-NANO的重建體積之間提供額外的相關(guān)性。