NewView™ 9000 Series

3D光學輪廓儀

NewView™ 9000 3D光學輪廓儀提供了強大、多功能的非接觸式光學表面分析。它可以簡單和快速地測量各種表面類型，包括光滑、粗糙、平坦、傾斜和階梯式的表面。測量都是無損、快速、無需樣品制備的。

ZYGO相干掃描干涉技術(CSI)是系統(tǒng)的核心技術，在放大倍數(shù)下實現(xiàn)亞納米的精度，并且能夠快速準確的測試各種樣品表面，為客戶提供高投資回報率的體驗。

性能，價值和多樣性

靈活性是ZYGO NewView產(chǎn)品的標志。NewView 9000光學輪廓儀提供多樣化的應用，包括平面度，粗糙度和波紋度，薄膜，臺階高度和更多應用。

NewView 9000輪廓儀都配備一個3位變焦塔臺，可以為系統(tǒng)自動切換不同倍率的分立變焦。樣品臺可選配手動型或全自動編碼型。

NewView 9000輪廓儀系統(tǒng)都提供高精度測量，易于使用和快速測量，價格吸引人，在通用性和應用價值方面使其成為3D光學輪廓儀的理想選擇。

以下差異化特性實現(xiàn)用戶計量更好、更快和更可靠:

? 大面積1.9 MP傳感器：高靈敏度，在單次測量中獲取更多的信息

? 高速測量：只需幾秒時間，優(yōu)化的測試能力和程序控制

? 自動零件聚焦和定位：減少操作員測試差異，提高培訓和測試效率

? 重復性特征：優(yōu)異的測量精度和可重復性，為高要求的生產(chǎn)應用提供服務

? 抗震測量： SureScan™抗震技術和集成式抗震平臺使系統(tǒng)在震動環(huán)境下也可實現(xiàn)高精度計量

? SmartPSI™技術：對超光滑表面進行快速分析測量

? 2D和3D的相關性：測量結果遵循ISO 25178和ISO 4287標準。

? Mx™軟件：實現(xiàn)儀器控制、分析和測量自動化

*的分析&控制軟件

NewView 9000輪廓儀使用ZYGO Mx™軟件，支持完整系統(tǒng)控制和數(shù)據(jù)分析，包括豐富的交互式3D繪圖，量化的形貌信息，直觀的測量導航以及內(nèi)置的SPC統(tǒng)計，質量控制圖，通過/失敗限制設置。

? 交互式3D繪圖 – 縮放，平移，旋轉，并實時更新結果。

? 靈活分析 – 較廣的定量分析結果，包括數(shù)據(jù)視圖和過濾器。

? 直觀的用戶界面 – 易于學習和使用的流程界面設計。

? 內(nèi)置SPC分析工具 – 跟蹤結果，監(jiān)控合格/不合格的標準，跟蹤處理數(shù)據(jù)。

還有滿足特殊應用需求的應用程序模塊，如透明薄膜的樣品測量，2D圖像分析等。

靈活的配置

NewView 9000輪廓儀的工作區(qū)域功能開放，界面條理清晰，使測量設置和轉換簡單&快速。系統(tǒng)可以配備多種樣品平臺，從手動型到全自動型，150毫米XY平移和4度俯仰傾斜?？蛇x集成式的抗震平臺，緊湊的尺寸，使它非常適合于臺式安裝，結合可選的工作臺使其成為理想的生產(chǎn)型測試系統(tǒng)。

NewView 9000 Optical Profiling System