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納米檢測顯微鏡OLS-4500

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更新時間:2021-08-25 15:17:07瀏覽次數(shù):353次

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從毫米到納米的超大范圍觀察和自由切換測量的多種顯微觀測模式OLS4500是結(jié)合了傳統(tǒng)光學(xué)顯微鏡、激光共聚焦顯微鏡(LSM)以及原子力顯微鏡(AFM)功能的一體機(jī)

從毫米到納米的超大范圍觀察和自由切換測量的多種顯微觀測模式

OLS4500是結(jié)合了傳統(tǒng)光學(xué)顯微鏡、激光共聚焦顯微鏡(LSM)以及原子力顯微鏡(AFM)功能的一體機(jī)。OLS4500可以滿足不同樣品的觀測需求,是一臺新時代的觀察、測量裝置。

OLS4500可以輕松實現(xiàn)從毫米到納米的觀察和測量,放大倍率由幾十倍到高達(dá)百萬倍。找到觀測目標(biāo)(觀察對象)后,您可以在光學(xué)顯微鏡模式、激光顯微鏡模式和原子力顯微鏡模式之間自由切換,而不用擔(dān)心目標(biāo)丟失。并且您可以使用探針顯微鏡迅速而正確的完成觀察,大大縮短了獲取影像的時間。這些便是OLS4500一體機(jī)的自由操作帶給您的益處。

更加方便、更加順利地完成超大范圍觀察和測量。

實現(xiàn)了自由切換操作的LEXT OLS4500,閃亮登場。

     

OLS4500的顯微技術(shù) 

明視場觀察 可以獲取顏色信息(紙張上的墨點)

♦ 激光顯微鏡的原理和特長

可進(jìn)行亞微米級觀察和測量的激光顯微鏡(LSM: Laser Scanning Microscope)

光學(xué)顯微鏡的平面分辨率很大程度取決于光的光子和波長,采用短波長的激光顯微鏡(LSM) 比采用可見光的傳統(tǒng)顯微鏡,擁有更高的平面分辨率。

OLS4500采用405nm的短波長半導(dǎo)體激光、高數(shù)值孔徑的專用物鏡、以及*的共焦光學(xué)系統(tǒng),可以達(dá)到0.12µm的平面分辨率。此外,OLS4500配有奧林巴斯的掃描加掃描型2D掃描儀,可以實現(xiàn)高達(dá)4096×4096像素的高精度XY掃描。

Z軸測量

      激光顯微鏡采用短波長半導(dǎo)體激光和的雙共焦光學(xué)系統(tǒng),會刪除未聚焦區(qū)域的信號,只將聚焦范圍內(nèi)的反射光檢測為同一高度。同時結(jié)合高精度的光柵讀取能力,可以生成高畫質(zhì)的影像,實現(xiàn)精確的3D測量。

 

高度的測量(微透鏡)

 原子力顯微鏡的原理和特長

可以觀察納米級微觀世界的探針顯微鏡(SPM: Scanning Probe Microscope)

探針顯微鏡(SPM)是通過機(jī)械式地用探針在樣品表面移動,檢測出探針與樣品之間產(chǎn)生的力、電的相互作用,同時進(jìn)行掃描,從而得到樣品影像。探針曲率半徑為10nm左右。典型的探針顯微鏡是原子力顯微鏡(AFM:Atomic Force Microscope),它通過檢測探針和樣品表面之間作用的引力和張力進(jìn)行掃描并獲得影像。探針顯微鏡能夠觀察納米級微觀形貌,可以捕捉到樣品細(xì)的一面。

通過微懸臂掃描進(jìn)行納米級觀察

OLS4500上采用了光杠桿法——通過高靈敏度檢測出最前端裝有探針的微懸臂的微小彎曲量(位移)來進(jìn)行觀測的方法。在懸臂的背面反射激光,并用壓電元件驅(qū)動Z軸,使激光照射到光電檢測器的位置,從而正確讀取Z方向的微小位移。

 

SPM傳感器光路圖

多種觀察模式在影像中呈現(xiàn)表面形狀和物性

探針顯微鏡擁有多種觀察模式,可以觀察、測量樣品表面的形狀,還可以進(jìn)行物性分析。OLS4500配有以下模式。

 

*該模式為選項功能。

 

 

 

決定高精細(xì)度、高質(zhì)量影像的微懸臂

探針位于長度約100µm~200µm的薄片狀微懸臂的前端。您可以根據(jù)樣品選擇不同的彈簧常數(shù)、共振頻率。反復(fù)掃描會磨損探針,所以請根據(jù)需要定期更換微懸探針。

 

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