照明系統(tǒng)并帶有防衍射薄膜

技術(shù)參數(shù)

手套箱尺寸

1220mm (長(zhǎng)) x 760mm (深) x 900mm (高)

1550mm (長(zhǎng)) x 760mm (深) x 900mm (高)

1800mm (長(zhǎng)) x 760mm (深) x 900mm (高)
 

箱體參數(shù)

箱體主材質(zhì)為304不銹鋼

DN 40KF和電源接口

高效灰塵過濾器，1個(gè)安裝在進(jìn)氣口，1個(gè)安裝在出氣口， H13級(jí)

鋼化玻璃的前窗玻璃（PC材質(zhì)可選）

4mm厚的手套（其它尺寸和材質(zhì)的手套可選）

POM手套孔圈，口徑為220mm

前置式照明系統(tǒng)

擱物架高度可調(diào)(1000mm (長(zhǎng)) x 220mm (深)

整體泄漏率

自重 400/600 kg
 

大過渡艙參數(shù)

圓柱形結(jié)構(gòu)，帶有不銹鋼滑盤（可選配其它形狀和尺寸的過渡艙）

內(nèi)徑360mm，長(zhǎng)600mm

304不銹鋼材質(zhì)結(jié)構(gòu)

鋁制艙門

手動(dòng)抽真空模式（自動(dòng)模式可選）

整體泄漏率 <10-5 mbar l/s
 

氣體凈化系統(tǒng)參數(shù)

單柱(SP)或雙柱(DP)系統(tǒng)

可得氣體純度 H2O < 1 ppm, O2 < 1 ppm

真空泵

自動(dòng)再生功能

循環(huán)風(fēng)機(jī)，可實(shí)現(xiàn)變頻控制

304不銹鋼管路
 

控制器參數(shù)

帶有觸摸屏的集成式控制器

自動(dòng)壓力控制 (+12 mbar, -12 mbar)，帶有腳踏板

多語(yǔ)言操作模式