PS50型三維表面形貌儀應用行業(yè)：是美國NANOVEA公司推出的一款科研版的三維表面形貌測量設備，采用的白光共聚焦技術，可實現(xiàn)對材料表面從納米到毫米量級的粗糙度測試，具有測量精度高，速度快，重復性好的優(yōu)點，廣泛應用于MEMS、半導體材料、太陽能、摩擦磨損、汽車、腐蝕、砂紙、巖石等行業(yè)。該儀器性價比高，可用于取代傳統(tǒng)的探針式表面形貌儀與干涉式表面形貌儀。

產(chǎn)品特點：采用白光共聚焦色差技術

1、利用白光點光源，光線經(jīng)過透鏡后產(chǎn)生色差，不同波長的光分開后入射到被測樣品上。

2、位于白光光源的對稱位置上的超靈敏探測器系統(tǒng)用來接收經(jīng)被測點漫反射后的光。

3、根據(jù)準共聚焦原理，探測器系統(tǒng)只能接收到被測物體上單點反射回來的特定波長的光，從而得到這個點距離透鏡的垂直距離。

4、再通過點掃描的方式可得到一條線上的坐標，即X-Z坐標。

5、最后以S路徑獲得物體每個點的三維X-Y-Z坐標。

6、最后將采集的三維坐標數(shù)據(jù)交給專業(yè)的三維處理軟件進行各種表面參數(shù)的分析。 

7、軟件能夠自動獲取用戶關心的表面形貌參數(shù)。

產(chǎn)品特性：

1、采用白光共聚焦色差技術，可獲得納米級的分辨率。

2、測量具有非破壞性，測量速度快，精確度高。

3、測量范圍廣，可測透明、金屬材料，半透明、高漫反射，低反射率、拋 光、粗糙材料(金屬、玻璃、木頭、合成材料、     光學材料、塑料、涂層、涂料、漆、紙、皮膚、頭發(fā)、牙齒…)。

4、尤其適合測量高坡度高曲折度的材料表面。

5、不受環(huán)境光的影響 。

6、測量簡單，樣品無需特殊處理。

7、Z方向測量范圍大：為27mm。

主要功能：

1、可創(chuàng)建任意區(qū)域的2D曲線圖或2D等高線分布圖； 

2、可創(chuàng)建任意區(qū)域的3D圖像；

3、自動得到樣品的一維線粗糙度參數(shù)（Ra,Rp,Rv,Rz,Rc,Rt,Rq,Rsk,Rku）；

4、自動得到樣品的二維面粗糙度（Sa,Sp,Sq,Sv,Sz,Ssk,Sku）；

5、可得到樣品的平整度，波紋度等參數(shù)；

6、自動校準功能，例如粗糙度，一般情況下對于曲面樣品，首先展平，然后自動給出粗糙度的參數(shù)；

7、具有尺寸測量：長度，寬度，角度，深度,臺階高度；

8、可測孔洞磨損面積，磨損體積等參數(shù)；

9、具有功率譜密度測試功能；

10、具有分形統(tǒng)計功能；

主要技術參數(shù):

1、XY全自動掃描范圍：50×50（mm）。

2、XY掃描步長：0.1μm。

3、掃描速度：20mm/s 。

4、Z方向測量范圍：27mm。

5、Z方向測量分辨率：2nm 。

產(chǎn)品應用：

MEMS、半導體材料、太陽能、摩擦磨損、汽車、腐蝕、砂紙、巖石等。