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空氣質(zhì)量流量計

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產(chǎn)品型號HLMFM06

品       牌

廠商性質(zhì)其他

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更新時間:2022-10-31 16:11:32瀏覽次數(shù):162次

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經(jīng)營模式:其他

商鋪產(chǎn)品:72條

所在地區(qū):

聯(lián)系人:吳先生

產(chǎn)品簡介

空氣質(zhì)量流量計產(chǎn)品集成度高,集瞬間流量顯示、累計流量顯示和信號輸出一體,并可實現(xiàn)自動調(diào)節(jié),感熱式傳感器采用大規(guī)模集成電路生產(chǎn)技術(shù)和材料加工技術(shù),使流量計的微流量測量靈敏度顯著提升,ml/min級的微流量測控,空氣質(zhì)量流量計實現(xiàn)微小空氣流量測量的數(shù)字化。

詳細介紹

空氣質(zhì)量流量計

質(zhì)量流量計傳感器采用微機械加工技術(shù),微小質(zhì)量流量計實現(xiàn)微小流量測量,其特點是可靠性高、重復(fù)性好,壓損小,無可動部件,量程比寬,響應(yīng)時間較快,微小質(zhì)量流量計測量精度高,無需要溫度壓力補償,微小質(zhì)量流量計廣泛應(yīng)用于輕工、化工、環(huán)保及半導(dǎo)體等工業(yè)部門的空氣、氧氣、氬氣、氮氣等氣體的檢測和控制。

工作原理:

感熱式芯片技術(shù)是采用大規(guī)模集成電阻的工作,在芯片上,一個微熱源及分別處于微熱源上下游的溫度傳感器集成在采用MEMS的*工藝制作的鏤空橋面上,采用這這樣的橋式方式制作有利于熱傳導(dǎo),使動態(tài)響應(yīng)時間大大提高,當(dāng)傳感器工作時,微熱源與環(huán)境溫度之間保持一定的溫差(通常是70℃),在芯片周圍形成固定的溫度場分布,如果氣體是單向流動,則在氣道中溫度場可用下述公式來計算:

式中:氣體流動方向為x,速度為v,a為擴散率。如上圖(式)所示,當(dāng)氣體流過芯片時,將會帶走熱量,通過質(zhì)量流量qm和電壓V的對應(yīng)關(guān)系來計算流體的質(zhì)量流量。

產(chǎn)品特點:

·產(chǎn)品集成度高,集瞬間流量顯示、累計流量顯示和信號輸出一體,并可實現(xiàn)自動調(diào)節(jié)、控制閥門

·微流量感熱式傳感器采用大規(guī)模集成電路生產(chǎn)技術(shù)和材料加工技術(shù),使流量計的微流量測量靈敏度顯著提升

·微小流量氣體測量,ml/min級的微流量測控,實現(xiàn)微小流量測量的數(shù)字化

·單個芯片的**流量特性的微處理技術(shù),使流量計的量程范圍大大提高

·機電一體化優(yōu)化設(shè)計,智能化的數(shù)據(jù)處理技術(shù),使流量計具有更好的重復(fù)性,實現(xiàn)了計量的準確、可靠

·結(jié)構(gòu)的優(yōu)化,流量計的壓力損失達到*小化

·采用國際*新的傳感技術(shù),使流量計工作更穩(wěn)定、可靠

·開創(chuàng)零點自校功能,測量更準確

·多種氣體實際標定,全量程補償

·快速響應(yīng)、數(shù)據(jù)自動存儲,配合上位機可實現(xiàn)網(wǎng)絡(luò)集中管理

·規(guī)格齊全,量程范圍寬,可根據(jù)用戶要求單獨標定

·精度等級高,滿足用戶高精度測量要求

·的流量計報警功能,使監(jiān)控更可靠

·操作、設(shè)置界面友好、簡便,可根據(jù)需要自行設(shè)定相關(guān)參數(shù)

·運用行業(yè)多,是科研院所、分析儀表行業(yè)、半導(dǎo)體行業(yè)、光伏行業(yè)、玻璃鍍膜、石油化工行業(yè)微小氣體流量控制產(chǎn)品升級換代的優(yōu)選

技術(shù)參數(shù):

·測量介質(zhì):各種氣體(乙炔氣和混合氣體除外)

·測量管徑:DN3,4,6,8,10,12,18

·流量范圍:20、30、50、100、300、500、1000sccm
1、2、5、10、20、30、40、50、100、150、200、300、500SLM

·流量測量準確度:±1.5%FS

·工作溫度范圍:-25-55

·工作壓力范圍:0.3MPa,0.6MPa,1.0MPa,3.0MPa

·供電電源:24VDC±10%

·輸出信號:4-20mA,RS485通訊

·環(huán)境溫度:-25-55

外觀尺寸

L

D

H

G

DN3

74

30

127

G1/8

DN6

74

30

127

G1/4

DN8

90

30

127

G3/8

DN10

130

35

127

G1/2

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