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立式PECVD設備

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更新時間：2022-08-28 09:57:51瀏覽次數：344次

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產品簡介

立式PECVD系統(tǒng)，由真空立式管式爐、射頻電源、供氣系統(tǒng)、石英真空室、真空測量系統(tǒng)組成。

詳細介紹

產品概述：
PECVD系統(tǒng)是借助射頻使含有薄膜組成原子的氣體電離，在局部形成等離子體，而等離子體化學活性很強，很容易發(fā)生反應，在基片上沉積出所期望的薄膜，此立式PECVD設備由真空立式管式爐、射頻電源、供氣系統(tǒng)、石英真空室、真空測量系統(tǒng)組成。

PECVD系統(tǒng)配置：

1.1200度開啟式滑動單溫區(qū)真空管式爐

2.等離子射頻電源

3.多路質量流量控制系統(tǒng)

4.真空系統(tǒng)

產品特性：

此立式PECVD設備溫度范圍寬；濺射區(qū)域長；整管可調；精致小巧，性價比高，可實現快速升降溫，是實驗室生長薄膜石墨烯，金屬薄膜，陶瓷薄膜，復合薄膜等的理想選擇。立式PECVD系統(tǒng)以含鉬電阻絲為加熱元件，采用雙層殼體結構和30段程序控溫儀表，移相觸發(fā)、可控硅控制，爐膛采用氧化鋁多晶纖維材料，具有溫場均衡、表面溫度低、升降溫度速率快、節(jié)能等優(yōu)點。

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