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箱式多弧磁控鍍膜機(jī) DH900DZX

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DH900DZX箱式多弧磁控鍍膜機(jī)可鍍制不銹鋼，鉻，鎢等多種金屬，DH900DZX箱式多弧磁控鍍膜機(jī)可鍍制合金膜或化合物，DH900DZX箱式多弧磁控鍍膜機(jī)也可在工件表面上鍍制單層或多層介質(zhì)膜或金屬 ZrN TiCN TiAIN等硬質(zhì)或裝飾涂層，DH900DZX多弧磁控鍍膜機(jī)具有鍍膜速度快，膜層質(zhì)量好的優(yōu)點(diǎn)。DH900DZX多弧磁控鍍膜機(jī).DH900DZX箱式多弧磁控鍍膜機(jī).磁控鍍膜機(jī)

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DH900DZX箱式多弧磁控鍍膜機(jī)

DH900DZX箱式多弧磁控鍍膜機(jī)可鍍制不銹鋼，鉻，鎢等多種金屬，也可鍍制合金膜或化合物，也可在工件表面上鍍制單層或多層介質(zhì)膜或金屬 ZrN TiCN TiAIN等硬質(zhì)或裝飾涂層，具有鍍膜速度快，膜層質(zhì)量好的優(yōu)點(diǎn)。

◆ 真空室：鍍膜室尺寸900×900×1000mm³ ；箱式，前開(kāi)門結(jié)構(gòu)；

◆ 抽氣系統(tǒng)：機(jī)械泵：前級(jí)泵70L/S；維持泵：2×-8旋片泵；羅茨泵：ZJP-150；擴(kuò)散泵：KT-500凸腔擴(kuò)泵；分子泵：FF250/1600﹝選配﹞

◆ 極限真空：5×10^-4Pa; 恢復(fù)真空：5×10^-3Pa﹝小于20min﹞;

◆ 鍍膜系統(tǒng)：平面磁控靶或圓柱磁控靶/直流功率源或中頻功率源；小弧源/柱弧源；

◆ 輔助鍍膜系統(tǒng)：脈沖偏壓電源。條形離子源﹝選配﹞。

◆ 膜厚測(cè)量系統(tǒng)：石英晶體膜厚監(jiān)控系統(tǒng)﹝選配﹞。

◆ 進(jìn)氣系統(tǒng)：自動(dòng)壓強(qiáng)控制+多路質(zhì)量流量控制系統(tǒng)；

◆ 操作方式：手動(dòng)按鍵式；自動(dòng)控型配置：研華工控機(jī)，80G硬盤，512內(nèi)存+日本三菱PLC；15英寸液晶顯示觸摸屏界面；

◆ 旋轉(zhuǎn)夾具：公轉(zhuǎn)/自轉(zhuǎn)夾具，速度從0～15r/min 無(wú)級(jí)可調(diào)；

◆ 工作烘烤：室溫～300 ℃；

◆ 供電電源：三相380V，50HZ。

◆ 特殊規(guī)格可定制。

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