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北京中西遠(yuǎn)大科技有限公司


離子減薄儀制備儀

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產(chǎn)品型號(hào)SZ41-Gatan 695.B

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更新時(shí)間:2022-09-08 13:59:29瀏覽次數(shù):279次

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

離子減薄儀制備儀型號(hào):SZ41-Gatan695.B庫(kù)號(hào):M4036201.工作條件1.1電力供應(yīng):220V(10%),50Hz,1φ;380V(10%),50Hz,3φ1.2工作溫度:15℃-25℃1.3工作濕度:2.技術(shù)要求*2.1離子槍?zhuān)号藢幨诫x子槍?zhuān)b載永磁鐵,聚焦離子束設(shè)計(jì),無(wú)耗件

詳細(xì)介紹

離子減薄儀制備儀 型號(hào):SZ41-Gatan 695.B庫(kù)號(hào):M403620   
1. 工作條件
1.1 電力供應(yīng):220V(10%),50Hz,1φ; 380V(10%),50Hz,3φ
1.2 工作溫度:15℃-25℃
1.3 工作濕度:< 60%
2. 技術(shù)要求
*2.1 離子槍?zhuān)号藢幨诫x子槍?zhuān)b載永磁鐵,聚焦離子束設(shè)計(jì),無(wú)耗件。
*2.2減薄角度:+10°到-10°,每只離子槍可獨(dú)立調(diào)節(jié)。
2.3 樣品臺(tái)旋轉(zhuǎn):樣品臺(tái)可以旋轉(zhuǎn),轉(zhuǎn)速1~6 rpm可調(diào)。
2.4 樣品臺(tái)移動(dòng)范圍:載臺(tái)可以實(shí)現(xiàn)X和Y方向的移動(dòng),移動(dòng)范圍:+/- 0.5mm。
*2.5離子槍束能量:0.1keV~8keV??稍诓煌妷合伦詣?dòng)優(yōu)化離子束束流。電流密度可達(dá)10mA/cm2.
2.6 離子束調(diào)制:可以進(jìn)行角度選擇性區(qū)域離子減薄減薄
2.7樣品更換:快速樣品更換時(shí)間<1min,無(wú)需破減薄室真空
*2.8樣品臺(tái):DouPost樣品臺(tái)以及裝樣器,方便快速更換樣品以及實(shí)現(xiàn)雙面減薄。
2.9 真空系統(tǒng):無(wú)油機(jī)械泵+80L/S抽氣速度分子泵系統(tǒng)。
2.10 所需氣體:氬氣,操作壓力25psi,無(wú)需水冷
*2.11 控制部分:10英寸觸摸屏控制,菜單化操作,并支持減薄程序的設(shè)定和儲(chǔ)存。

備注:其中,帶*的指標(biāo)為重要的必須滿(mǎn)足的技術(shù)指標(biāo)

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