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中圖儀器光學(xué)輪廓儀全自動(dòng)測量工件3D表面形貌SuperViewW1

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深圳市中圖儀器股份有限公司

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產(chǎn)品簡介

中圖儀器光學(xué)輪廓儀全自動(dòng)測量工件3D表面形貌，它是一款用于對各種精密器件及材料表面進(jìn)行亞納米級測量的檢測儀器

詳細(xì)介紹

中圖儀器光學(xué)輪廓儀全自動(dòng)測量工件3D表面形貌，它是一款用于對各種精密器件及材料表面進(jìn)行亞納米級測量的檢測儀器。以白光干涉技術(shù)為原理、結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，可測各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等，提供依據(jù)ISO/ASME/EUR/GBT四大國內(nèi)外標(biāo)準(zhǔn)共計(jì)300余種2D、3D參數(shù)作為評價(jià)標(biāo)準(zhǔn)。

中圖儀器光學(xué)輪廓儀全自動(dòng)測量工件3D表面形貌，除用于測量表面形貌或測量表面輪廓外，具有的測量晶圓翹曲度功能，非常適合晶圓，太陽能電池和玻璃面板的翹曲度測量，應(yīng)變測量以及表面形貌測量。

結(jié)果組成：
1、三維表面結(jié)構(gòu)：粗糙度，波紋度，表面結(jié)構(gòu)，缺陷分析，晶粒分析等；
2、二維圖像分析：距離，半徑，斜坡，格子圖，輪廓線等；
3、表界面測量：透明表面形貌，薄膜厚度，透明薄膜下的表面；
4、薄膜和厚膜的臺階高度測量；
5、劃痕形貌，摩擦磨損深度、寬度和體積定量測量；
6、微電子表面分析和MEMS表征。

主要應(yīng)用領(lǐng)域：
1、用于太陽能電池測量；
2、用于半導(dǎo)體晶圓測量；
3、用于鍍膜玻璃的平整度（Flatness)測量；
4、用于機(jī)械部件的計(jì)量；
5、用于塑料，金屬和其他復(fù)合型材料工件的測量。

中圖儀器光學(xué)輪廓儀全自動(dòng)測量工件3D表面形貌，X/Y方向標(biāo)準(zhǔn)行程為140*100mm，滿足減薄后晶圓表面大范圍多區(qū)域的粗糙度自動(dòng)化檢測、鐳射槽深寬尺寸、鍍膜臺階高等微納米級別精度的測量。

關(guān)鍵詞：光學(xué)輪廓儀輪廓儀電池