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3D光學輪廓儀 S neox

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更新時間：2023-01-29 08:44:44瀏覽次數(shù)：702次

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產(chǎn)品簡介

D光學輪廓儀Sneox的S系列3D光學輪廓儀，為您展現(xiàn)全新的3D立體形貌全新設(shè)計的3D光學輪廓儀Sneox傳統(tǒng)，將共聚焦、干涉和多焦面疊加技術(shù)融合于一身，測量頭內(nèi)無運動部件

詳細介紹

D 光學輪廓儀 S neox
的S系列3D光學輪廓儀，為您展現(xiàn)全新的3D立體形貌
全新設(shè)計的3D光學輪廓儀S neox傳統(tǒng)，將共聚焦、干涉和多焦面疊加技術(shù)融合于一身，測量頭內(nèi)無運動部件。

共聚焦
共聚焦技術(shù)可以用來測量各類樣品表面的形貌。它比光學顯微鏡有更高的橫向分辨率，可達0.09um.利用它可實現(xiàn)臨界尺寸的測量。當用150倍、0.95數(shù)值孔徑的鏡頭時，共聚焦在光滑表面測量斜率達70°（粗糙表面達86°）。的共聚焦算法保證Z測量重復(fù)性在納米范疇。

相位差干涉
相位差干涉是一種亞納米級精度的用于測量光滑表面高度形貌的技術(shù)。它的優(yōu)勢在于任何放大倍數(shù)都可以保證亞納米級的縱向分辨率。使用2.5倍的鏡頭就能實現(xiàn)超高縱向分辨率的大視場測量。

白光干涉
白光干涉是一種納米級測量精度的用于測量各種表面高度形貌的技術(shù)。它的優(yōu)勢在于任何放大倍數(shù)都可以保證納米的縱向分辨率。

多焦面疊加
多焦面疊加技術(shù)是用來測量非常粗糙的表面形貌。根據(jù)Sensofar在共聚焦和干涉技術(shù)融合應(yīng)用方面的豐富經(jīng)驗，特別設(shè)計了此功能來補足低倍共聚焦測量的需要。該技術(shù)的亮點是快速（mm/s）、掃描范圍大和支援斜率大（86°）。此功能對工件和模具測量特別有用。

無運動部件的共聚焦
Sneox系列是采用Sensofar設(shè)計的Microdisplay共集聚掃描技術(shù)。Microdisplay使用FLCOS原理，可實現(xiàn)無需機械運動的快速共聚焦掃描。它具有高速、穩(wěn)定和無限使用時間的特點?，F(xiàn)有的其他品牌共聚焦顯微鏡都采用鏡片震動掃描的方式，因為有機械震動會造成測量時抖動，使用時間也有限。

多波長的LED光源
Sneox有4個獨立的LED光源紅色(630nm),綠色（530nm），藍色（460nm）和白色，可以滿足各種應(yīng)用的需要。較短的光波長可在測量時獲得水平分辨率。較長的光波長有更好的光學相干性，適合干涉掃描使用。此紅、綠、藍三色LED交替照明的方式還能幫助獲得最真實和高對比度的圖像。

用高分辨率的攝像頭將共聚焦的圖像精彩呈現(xiàn)。
用高速模式掃低反射率的樣品時，3D掃時間將少于3秒。

3D形貌的體檢
彩色共聚焦觀察方式使用戶能在視場內(nèi)觀察到納米級的細節(jié)。掃??時用紅、綠、藍三色LED交替照明，獲得三張單色的圖像，最后還原成高分瀕率彩色圖像和高質(zhì)量的彩色表面紋理圖

薄膜厚度
用分光反射計可以完善地解決薄膜厚度測量。Sneox在增加了分光反射計后可以測量10nm的膜厚和最多10層膜。由于是通過顯微鏡測量，最小的測量點為5um。因為系統(tǒng)里有組合的LED光源，所以實時觀察和膜厚測量能同時進行。

增配SensoPRO或SensoMAP軟件就能輕易實現(xiàn)全自動測量和分析
SensoPRO
有了SensoPRO，在生產(chǎn)線上進行質(zhì)量管控將變得從未有過的簡單和快速。操作員只需要更換樣品和按開始測量就行。插件式的數(shù)據(jù)分析模塊能靈活地增減，現(xiàn)在已有特別針對PSS（LED行業(yè)）、Bump、深孔、粗糙度、臺階高度、traces和劃痕的分析模組。還能根據(jù)客戶的要求定制。

SensoMAP
SensoMAP是基于Mountains的專業(yè)形貌分析和報告軟件。它采用模塊化設(shè)計，有兩個級別（standard和premium）和多個功能模塊（2D、3D和4D分析、高階輪廓分析、粒度分析、統(tǒng)計和拼接等）可供選擇。

明場								干涉
放大倍數(shù)	2.5X	5X	10X	20X	50X	100X	150X	2.5X	5X	10X	20X	50X	100X
數(shù)值孔徑	0.075	0.15	0.30	0.45	0.80	0.90	0.95	0.075	0.13	0.30	0.40	0.55	0.70
工作距離（毫米）	6.5	23.5	17.5	4.5	1.0	1.0	0.2	10.3	9.3	7.4	4.7	3.4	2.0
視場范圍1（微米）	7016x5280	3508x2640	1754x1320	877x660	351x264	175x132	117x88	7016x5280	3508x2640	1754x1320	877x660	351x264	175x132
像素分辨率2（微米）	5.16	2.58	1.29	0.65	0.26	0.13	0.09	5.16	2.58	1.29	0.65	0.26	0.13
光學分辨率3（微米）	1.87	0.93	0.46	0.31	0.17	0.15	0.14	1.87	1.07	0.46	0.35	0.5	0.20
測量時間4（秒）	>3s							>3s

系統(tǒng)參數(shù)
CCD像素	130x1024 pixels
LED光源	紅（630nm)，綠（530nm)，藍（460nm)，白(550nm)
樣品高度	標準支架40mm，可調(diào)支架150mm(更大可定制）
平臺尺寸	700*600mm
Z軸移動行程	標準支架40mm，PZT裝置200um
Z軸測量范圍	PSI 20um,ePSI 100um，VSI 10mm,共聚焦10mm,多焦面疊加37mm
Z軸線性度	標準支架<0.5um/mm,PZT裝置<30nm/100um(0.03%)
Z軸分辨率	標準支架2nm,PZT裝置0.75nm
臺階高度重復(fù)性	0.10%
臺階精度	0.50%
樣品反射率	0.05% to 99%
顯示分辨率	0.001nm
電源	交流電100-240AC,50/60HZ
電腦配置	款I(lǐng)NTEL處理器，2560*1440分辨率顯示器（27英寸）
操作系統(tǒng)	Microsoft Windows8 64bits
工作環(huán)境	溫度：10-35度，濕度<80%，海拔<2000m