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SCREEN二手清洗設(shè)備WS-820L

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更新時(shí)間:2023-05-15 17:24:52瀏覽次數(shù):205次

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產(chǎn)品簡介

SCREEN二手清洗設(shè)備WS-820L,針對8英寸晶圓的高通量批量清洗系統(tǒng)可實(shí)現(xiàn)靈活的生產(chǎn)線配特點(diǎn):1.傳輸類型選擇WS-820L用于200毫米晶圓并進(jìn)行無載體轉(zhuǎn)移處理

詳細(xì)介紹

SCREEN二手清洗設(shè)備WS-820L,針對8英寸晶圓的高通量批量清洗系統(tǒng)可實(shí)現(xiàn)靈活的生產(chǎn)線配

特點(diǎn):


1.傳輸類型

選擇 WS-820L 用于 200 毫米晶圓并進(jìn)行無載體轉(zhuǎn)移處理。

2. 靈活的設(shè)計(jì)

系統(tǒng)可以根據(jù)應(yīng)用自由配置。處理槽配置最多可包含 13 個(gè)槽。

3. 高吞吐量

可以安裝多個(gè)浴槽,最多可以安裝六個(gè)傳送機(jī)器人,以確保高吞吐量。

4. 高品質(zhì)加工

優(yōu)化的加工槽設(shè)計(jì)、嚴(yán)格的化學(xué)品管理和清潔的干燥裝置有助于穩(wěn)定、高質(zhì)量的加工。

5. 豐富的周邊設(shè)備陣容

提供多種外圍設(shè)備,包括晶圓傳送單元和盒式儲料器。

6. 水印的預(yù)防

可安裝低壓干燥裝置以減少水印并確保干燥清潔

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