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D07-7B氣體質(zhì)量流量控制器

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品       牌

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更新時間:2023-08-05 19:13:52瀏覽次數(shù):176次

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產(chǎn)品簡介

質(zhì)量流量控制器(MFC)用于對氣體的質(zhì)量流量進行精密地測量和控制

詳細(xì)介紹


    質(zhì)量流量控制器(MFC)用于對氣體的質(zhì)量流量進行精密地測量和控制。廣泛用于電子工藝設(shè)備、真空鍍膜、 石油化工、冶金、制藥、光纖熔煉、分析測量儀器、制氣配氣等行業(yè)。



    主要特點:

    ★高性能價格比、普通型產(chǎn)品

    ★橡膠密封、模擬電路的MFC

    ★7A型的更新?lián)Q代型

    ★管狀分流,使用壽命長


滿量程流量范圍(N2

5SCCM~10SLM

控制范圍

2~100%F.S.

閥類型(及閥初始狀態(tài))

電磁調(diào)節(jié)閥(常閉)

準(zhǔn)確度

±1.5%F.S.

線性

±0.5~1.5%F.S.

重復(fù)精度

±0.2%F.S.

響應(yīng)時間

  電特性:    10  sec

氣特性:  ≤ 4  sec

工作溫度范圍

5~45

工作壓差

0.1~0.5MPa

耐壓

3MPa

漏氣率

1×10-8atm.cc/sec  He

通道濕材料

316L不銹鋼、密封材料

靜密封材料

氟橡膠(或丁晴橡膠、硅橡膠)

動密封材料

氟橡膠(或丁晴橡膠、硅橡膠、聚四氟乙烯)

接頭選擇

VCR

1/4"

雙卡套

1/8"、1/4"或φ6、φ3

重量

1.1Kg


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