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四氯硅烷分析用氦離子色譜儀

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更新時(shí)間:2023-01-06 11:24:01瀏覽次數(shù):332次

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

儀器配備高靈敏的氦離子化檢測(cè)器,采用華愛公司的中心切割技術(shù),進(jìn)樣閥均帶有吹掃保護(hù)氣路;整機(jī)采用多柱箱設(shè)計(jì),并配備進(jìn)樣壓力自動(dòng)校正系統(tǒng),保證不同底氣的樣品的進(jìn)樣量。

詳細(xì)介紹

  • 產(chǎn)品描述

四氯硅烷分析氦離子色譜儀適用電子工業(yè)用氣體中痕量雜質(zhì)的檢測(cè),小檢測(cè)濃度可達(dá)5ppb。儀器配備高靈敏的氦離子化檢測(cè)器,采用華愛公司的中心切割技術(shù),進(jìn)樣閥均帶有吹掃保護(hù)氣路;整機(jī)采用多柱箱設(shè)計(jì),并配備進(jìn)樣壓力自動(dòng)校正系統(tǒng),保證不同底氣的樣品的進(jìn)樣量。產(chǎn)品先后榮獲上海市*成果轉(zhuǎn)化項(xiàng)目。

硅(SiHCl3)含量(體積分?jǐn)?shù))/l0-6 40025
二氯硅烷(SiH2Cl2)含量(體積分?jǐn)?shù))/l0-6 40025
甲基二氯硅烷(SiCl2CH4)含量(體積分?jǐn)?shù))/l0-6 20050
金屬元素及其他元素含量(硼+鋁)(B+Al)含量/(µg/kg) ≤——0.1
(磷+砷)(P+As)含量/(µg/kg) ≤——0.3
鎵(Ga)含量/(µg/kg) ≤——0.5
銻(Sb)含量/(µg/kg) ≤——0.5
銦(In)含量/(µg/kg) ≤——0.5
鈣(Ca)含量/(µg/kg) ≤10.5
鉻(Cr)含量/(µg/kg) ≤10.5
鐵(Fe)含量/(µg/kg) ≤10.5
鉀(K)含量/(µg/kg) ≤10.5
鈉(Na)含量/(µg/kg) ≤10.5
鎳(Ni)含量/(µg/kg) ≤10.5
鉬(Mo)含量/(µg/kg) ≤10.5
錳(Mn) 含量/(µg/kg) ≤10.5
銅(Cu)含量/(µg/kg) ≤10.5
鎘(Cd) 含量/(µg/kg) ≤10.5
鈷(Co)含量/(µg/kg) ≤10.5
鋅(Zn)含量/(µg/kg) ≤10.5
釩(V)含量/(µg/kg) ≤10.5

關(guān)鍵詞:離子色譜儀
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