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MKS G系列GV50A數(shù)字控制質(zhì)量流量控制器

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更新時間：2023-10-19 12:25:06瀏覽次數(shù)：170次

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產(chǎn)品簡介

帶有截止閥的多氣體，多量程，彈性密封的50slm質(zhì)量流量控制器G系列GV50A數(shù)字控制質(zhì)量流量控制器可提供RS485，Profibus™，EtherCAT®，PROFINET或DeviceNet™I/O

詳細(xì)介紹

帶有截止閥的多氣體，多量程，彈性密封的50 slm質(zhì)量流量控制器

G系列GV50A數(shù)字控制質(zhì)量流量控制器可提供RS485，Profibus™，EtherCAT®，PROFINET或DeviceNet™I / O。數(shù)字控制電子設(shè)備使用的MKS控制算法，可在整個設(shè)備控制范圍內(nèi)對設(shè)定點進行快速，可重復(fù)的響應(yīng)。典型的響應(yīng)時間約為600到800毫秒。數(shù)字校準(zhǔn)可在校準(zhǔn)氣體上產(chǎn)生設(shè)定點精度的1％。

· 流量從5到50,000 sccm

· 截止閥泄漏率小于4x10E-09 atm-cc / sec He

· 多種數(shù)字（ItherCAT，DeviceNet™，Profibus®，PROFINET和RS485）或模擬（0-5 VDC或4-20 mA）I / O

· 少于750毫秒的建立時間

· Viton，Buna，氯丁橡膠或Kalrez的密封件和閥塞選項

技術(shù)指標(biāo)

控制范圍	滿量程的2％至100％	進氣壓力系數(shù)	<讀數(shù)的0.02％/ psi
滿量程流量范圍	5至50,000 sccm	典型建立時間	<750毫秒，通常在滿量程的5％以上
密封材料	Viton，Buna-N，EPDM，Kalrez或氯丁橡膠	熱身時間	30分鐘
流量輸入輸出信號	電壓：（0至5 VDC）15針D型公頭，9針D型公頭，電流：4到20 mA 15針D型公頭	工作溫度	10°至50°C
入口壓力	150磅/平方英寸	儲存濕度	0至95％相對濕度，無凝結(jié)
正常工作壓力差	10至5000 sccm; 10至40 psid，10000至20000 sccm; 15至40 psid，30000至50000 sccm; 25至40 psid	貯存溫度	-20°至80°C
耐壓	1000磅/平方英寸	外部泄漏完整性	<1 x 10-09（scc / sec He）
爆破壓力	1500磅/平方英寸	封閉閥的泄漏完整性	在大氣壓力40 psig時高達10K的閥門<滿量程的0.1％，在大氣壓力40 psig時高達20K-50K閥門<量程的1.0％
典型精度	20％至100％滿量程的±1％設(shè)定點，2％至20％滿量程的±0.2％滿刻度	濕材料	316L SS VAR，316 SS，Elgiloy®，KM-45
重復(fù)性	讀數(shù)的±0.3％	表面處理	平均Ra 16µ英寸
解析度	滿量程的0.1％	重量	3磅（1.4公斤）
零溫度系數(shù)	<滿量程的0.05％/°C	合規(guī)	CE認(rèn)證
跨度溫度系數(shù)	<讀數(shù)的0.08％/°C

特征

多種數(shù)字和模擬接口選擇

GV50A數(shù)控MFC可提供模擬或數(shù)字I / O。數(shù)字控制電子器件采用的MKS控制算法，可在整個設(shè)備控制范圍內(nèi)對設(shè)定點提供快速，可重復(fù)的響應(yīng)。典型的響應(yīng)時間約為500毫秒。GV50A的模擬量和數(shù)字量I / O可以輕松用來替代2179A MFC的相同I / O類型。所有GV50A均包含Modbus作為可用的輔助I / O（不包括PROFINET®和EtherCAT®）。

標(biāo)準(zhǔn)3英寸占地面積

GV50A利用MFC使用的標(biāo)準(zhǔn)3英寸占地面積，流量范圍為5 sccm至50 slm，從而使其能夠使用而無需修改現(xiàn)有的氣體管線配置。

所有金屬潤濕的表面

GV50A的設(shè)計采用了最少的彈性體。只有一個外部彈性體密封件和彈性體閥芯。否則，所有濕潤的表面都是金屬。GV50A標(biāo)配Viton®密封件，以及Buna，Neoprene®，EPMD或Kalrez®的選件，允許該設(shè)備與需要這些替代品之一的氣體一起使用。

設(shè)定值精度的百分比

附帶的數(shù)字校準(zhǔn)可在全量程流量范圍的20％至100％的情況下使用N2校準(zhǔn)氣體提供1％的設(shè)定點精度。設(shè)定點精度可實現(xiàn)精確的過程控制，相對于相對于滿量程的精度。當(dāng)質(zhì)量流量為滿刻度的2至20％時，精度為滿刻度的±0.2％。