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32BF-4M5P精密研磨拋光設(shè)備

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

一、產(chǎn)品用途主要用于半導(dǎo)體、藍(lán)寶石、玻璃、陶瓷片、晶體材料及其他硬脆材料的高精度雙面研磨，尤其對(duì)于超薄工件的加工具有明顯的優(yōu)勢(shì)

詳細(xì)介紹

一、產(chǎn)品用途

主要用于半導(dǎo)體、藍(lán)寶石、玻璃、陶瓷片、晶體材料及其他硬脆材料的高精度雙面研磨，尤其對(duì)于超薄工件的加工具有明顯的優(yōu)勢(shì)。

二、安裝條件

序號(hào)	項(xiàng)目	指標(biāo)要求
1	環(huán)境	室內(nèi)地面平坦、無振動(dòng)源、無灰塵煙霧污染
2	水源	純水或自來水
3	電源	約70kW AC380V 50Hz（總功率）
4	氣源	壓縮空氣源 0.6Mpa，接口φ16mm（外徑）
5	溫度	10℃-25℃
6	相對(duì)濕度	≤95%
7	外形尺寸（長x寬x高）	3700x3000x4100mm（含地腳高度及電器柜尺寸）
8	主機(jī)重量	28000Kg
9	主機(jī)顏色	BH白或訂制

三、主要特點(diǎn)

序號(hào)	項(xiàng)目		特點(diǎn)
1	壓力控制		運(yùn)動(dòng)控制器+壓力傳感器+電氣比例閥+低摩擦氣缸實(shí)現(xiàn)高精度壓力控制，上盤使用壓力1200Kg，精度可達(dá)2%
2	上盤調(diào)心		采用萬向節(jié)結(jié)構(gòu)，調(diào)心靈活，承載力高
3	上盤防落裝置		雙重機(jī)械鎖定，安全性更高
4	高精度速度控制		自編程實(shí)現(xiàn)低速平穩(wěn)、啟停同步運(yùn)轉(zhuǎn)控制，內(nèi)外齒圈采用伺服控制，速度控制更精準(zhǔn)
5	精密傳動(dòng)系統(tǒng)		高精度小齒隙全齒輪傳動(dòng)
6	下盤支撐		高精度流體軸承支撐
7	免維護(hù)設(shè)計(jì)		齒輪采用自動(dòng)集中潤滑裝置，關(guān)鍵器件采用進(jìn)口品牌，軸承留有潤滑接口
8	強(qiáng)制散熱系統(tǒng)		軸流風(fēng)機(jī)排熱方式，并預(yù)留抽風(fēng)接口，用戶可自行連接
9	清洗便捷		低臺(tái)面、半裸式接液盆
10	同步升降		齒圈太陽輪同步升降，采用伺服電機(jī)拖動(dòng)，可自動(dòng)或手動(dòng)調(diào)節(jié)高度，延長使用壽命
11	游輪精確定位		齒圈太陽輪采用伺服電機(jī)拖動(dòng)，可實(shí)現(xiàn)游輪的精確定位
12	水液分離裝置		水液切換程序控制，自動(dòng)分離，操作便捷，清洗水可自動(dòng)排放
13	整機(jī)減振		防振式結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)安裝，設(shè)備更穩(wěn)定
14	防護(hù)設(shè)計(jì)		齒圈、太陽輪采用不銹鋼制作，接液盆，托盤、拋盤等接觸到工作液的地方均噴涂特氟龍
15	供液系統(tǒng)		桶體設(shè)有排污口，具備溫度、液位監(jiān)測(cè)，具有加熱和冷卻功能，具有液泵和攪拌泵，出口設(shè)有過濾器，管路設(shè)有流量監(jiān)測(cè)，能在線實(shí)時(shí)檢測(cè)流量
16	自動(dòng)測(cè)厚		設(shè)備裝有機(jī)械測(cè)厚系統(tǒng)，能在線實(shí)時(shí)檢測(cè)工件加工厚度
17	分級(jí)管理		密碼分級(jí)管理，不同人員具有不同的操作權(quán)限
18	工藝適用性	程序控制	可儲(chǔ)存多套工藝參數(shù)，每套工藝可達(dá)20步，工藝參數(shù)設(shè)置包括（壓力、時(shí)間、速度、速比、緩降壓力、浮動(dòng)時(shí)間等）
		速比搭配	四電機(jī)獨(dú)立同步拖動(dòng)，上下盤、內(nèi)齒、外齒（即可正轉(zhuǎn)，也可反轉(zhuǎn)）轉(zhuǎn)速可任意設(shè)定，具有配方功能