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北京歐唐科技發(fā)展有限公司
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更新時間：2022-12-29 14:11:13瀏覽次數(shù)：420次
聯(lián)系我時，請告知來自 環(huán)保在線NanoCam HD采用相移干涉技術(shù)（PSI），精度可達(dá)0.1nm；沿用4D技術(shù)公司的相位相關(guān)探測器的瞬時相移技術(shù)，可在振動環(huán)境下測量大口徑光學(xué)元件表面粗糙度。NanoCam HD克服了傳統(tǒng)粗糙度儀速度慢、使用復(fù)雜的缺點，其便攜和抗振動的特性使NanoCam 在多種復(fù)雜工作場景——生產(chǎn)現(xiàn)場、龍門機(jī)器人、拋光設(shè)備旁、放置在大口徑光學(xué)元件表面，都能進(jìn)行高精度測量；可掛在機(jī)械手上對被測元件進(jìn)行任意方位的......
系統(tǒng)描述：對振動不敏感的動態(tài)表面輪廓儀
采集模式：采用相位相關(guān)探測器的瞬時相移式
核心技術(shù)：相移干涉技術(shù)（PSI）
光源：460nm LED
相機(jī)像素：1.6MP, 12-bit
外形尺寸：24 cm × 24 cm × 8 cm
重量：4.6 kg
最小曝光時間：<100µsec
垂直測量范圍：115nm step
RMS重復(fù)性：<0.005nm
RMS精度：<0.1nm
物鏡 ：可選0.9X，2X，5X，10X，20X，50X（相見列表）
三腳架：可選操縱桿控制的三腳架，帶傾斜/俯仰/垂直調(diào)節(jié)
校準(zhǔn)鏡：超光滑參考鏡
加長線纜：5m或10m
長工作距離干涉物鏡
放大倍率 | 0.9X | 2.0X | 5X | 10X | 20X | 50X |
數(shù)值孔徑 | 0.026 | 0.055 | 0.15 | 0.30 | 0.45 | 0.8 |
工作距離（mm） | 15.0 | 23.0 | 23.0 | 17.0 | 0.51 | 0.29 |
460nm處的分辨率（um） | 8.8 | 4.2 | 1.5 | 0.77 | 0.51 | 0.29 |
空間采樣（um） | 8.2 | 3.7 | 1.5 | 0.74 | 0.37 | 0.15 |
視場角（mm） | 9.9 | 4.4 | 1.8 | 0.90 | 0.44 | 0.18 |
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