4D InSpec 便攜式表面缺陷測量儀 表面檢測 粗糙度檢測
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北京歐唐科技發(fā)展有限公司
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產品介紹NanoCamHD采用相移干涉技術（PSI），精度可達0.1nm；沿用4D技術公司的相位相關探測器的瞬時相移技術，可在振動環(huán)境下測量大口徑光學元件表面粗糙度
產品介紹
NanoCam HD采用相移干涉技術（PSI），精度可達；沿用4D技術公司的相位相關探測器的瞬時相移技術，可在振動環(huán)境下測量大口徑光學元件表面粗糙度。
NanoCam HD克服了傳統粗糙度儀速度慢、使用復雜的缺點，其便攜和抗振動的特性使NanoCam 在多種復雜工作場景——生產現場、龍門機器人、拋光設備旁、放置在大口徑光學元件表面，都能進行高精度測量；可掛在機械手上對被測元件進行任意方位的測量。
NanoCam HD能克服一般光學輪廓儀受樣品反射率的制約，可以對高反或低反樣品進行測量。
常規(guī)屬性
系統描述：對振動不敏感的動態(tài)表面輪廓儀
采集模式：采用相位相關探測器的瞬時相移式
核心技術：相移干涉技術（PSI）
光源：460nm LED
相機像素：, 12-bit
外形尺寸：24 cm × 24 cm × 8 cm
重量： kg
系統性能
最小曝光時間：
垂直測量范圍：115nm step
RMS重復性：
RMS精度：
配置選項
物鏡 ：可選，2X，5X，10X，20X，50X（相見列表）
三腳架：可選操縱桿控制的三腳架，帶傾斜/俯仰/垂直調節(jié)
校準鏡：超光滑參考鏡
加長線纜：5m或10m
長工作距離干涉物鏡
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