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行業(yè)產(chǎn)品

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武漢頤光科技有限公司


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SE-VF 光譜橢偏儀

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更新時(shí)間:2023-08-29 21:10:12瀏覽次數(shù):157次

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

針對(duì)微區(qū)圖形結(jié)構(gòu)測(cè)量定制的專用型光譜橢偏儀

詳細(xì)介紹

  • 一、概述

    SE-m 是一款針對(duì)半導(dǎo)體行業(yè)定制的微區(qū)圖形結(jié)構(gòu)測(cè)量的專用型光譜橢偏儀,其采用行業(yè)橢偏創(chuàng)新技術(shù),自主獨(dú)立研發(fā)出行業(yè) 1 超小微光斑探測(cè)測(cè)量技術(shù), 2 定制超快測(cè)量速度,等技術(shù)。可應(yīng)用透明各類襯底上的減反膜、導(dǎo)電膜等薄膜的n/k/d測(cè)量,適用于微區(qū)圖形的各種光學(xué)參數(shù)解析。

    二、特色功能

    可定制光斑尺寸,最小可達(dá)30um;

    超快測(cè)量,單次測(cè)量時(shí)間小于0.5秒 ;

    系列配置靈活,支持功能定制設(shè)計(jì);

    結(jié)構(gòu)緊湊,更適應(yīng)在線集成測(cè)量.

    三、測(cè)量實(shí)例

    捕獲.JPG微區(qū)圖形結(jié)構(gòu)測(cè)量

    捕獲.JPG

    四、應(yīng)用場(chǎng)景

    應(yīng)用于光學(xué)常數(shù)測(cè)量,適用于各類光學(xué)薄膜等鍍膜檢測(cè)應(yīng)用。

    微信截圖_20180930104450.png

  • 技術(shù)參數(shù)


  • 關(guān)鍵詞:橢偏儀
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