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行業(yè)產(chǎn)品

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上海森懋機(jī)械設(shè)備有限公司


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BPG402-Sx 大氣壓至超高真空真空計(jì)

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產(chǎn)品型號(hào)

品       牌

廠商性質(zhì)其他

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更新時(shí)間:2023-11-28 13:13:28瀏覽次數(shù):135次

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商鋪產(chǎn)品:14條

所在地區(qū):

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

益處測(cè)量范圍非常廣

詳細(xì)介紹

益處

  • 測(cè)量范圍非常廣,從 5×10-10 毫巴至大氣壓(3.8×10-10 托至大氣壓)
  • 10-8 … 10-2 毫巴過(guò)程壓力范圍內(nèi) 5% 的優(yōu)良可重復(fù)性
  • 皮拉尼聯(lián)鎖保護(hù)燈絲,防止過(guò)早燒毀
  • 兩根使用壽命長(zhǎng)的氧化釔銥絲
  • 備有可選的圖形顯示屏和現(xiàn)場(chǎng)總線接口
  • 高真空皮拉尼自動(dòng)調(diào)節(jié),減少操作員干預(yù)
  • 易于更換的傳感元件與板載校準(zhǔn)數(shù)據(jù)確保高再現(xiàn)性
  • RoHS 合規(guī)

典型應(yīng)用

  • 對(duì)半導(dǎo)體過(guò)程和傳輸腔室的壓力測(cè)量
  • 工業(yè)鍍膜
  • 低真空和超高真空范圍內(nèi)的一般真空測(cè)量和控制

新聞

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規(guī)格

類型

BPG402-S

測(cè)量范圍(空氣、O2、CON2

5×10-10 … 1000 

精度

 

10-8 … 10-2 毫巴

% of reading

±15

可重復(fù)性

 

10-8 … 10-2 毫巴

% of reading

5

除氣 (1)

 

p < 7.2 × 10-6

mbar

electron bombardment, max. 3 min

壓力,更大

bar (absolute)

2

溫度

 

運(yùn)行(環(huán)境)

°C

… +50

貯存

°C

-20 … +70

在法蘭處烘烤,無(wú)電子設(shè)備 BPG402-S

°C

80

無(wú)電子設(shè)備,在法蘭處烘烤 BPG402-SL

°C

150

電源電壓

+20 … +28

輸出信號(hào)模擬

 

輸出信號(hào)

V

… +10

測(cè)量范圍

V

+0.774 … +10

電壓與壓強(qiáng)

volts per decade

0.75

錯(cuò)誤信號(hào)

V

0.1 / 0.3 / 0.5

更小負(fù)載電阻

k

10

設(shè)定點(diǎn)繼電器

 

設(shè)定點(diǎn)數(shù)量

1

范圍

mbar

1×10-9 … 100

繼電器觸點(diǎn)

n.o., potential free

滯后

% of reading

10

觸點(diǎn)額定值

30

數(shù)字功能

degas

接口(數(shù)字)(2)

RS232C

發(fā)射控制

automatic / manual via interface

單絲

two Yt2O2 coated Ir

單絲狀態(tài)/繼電器

LED / relay

電氣連接

D-Sub, 15-pin, male

電纜長(zhǎng)度,更大 (3)

m (ft.)

100 (330)

暴露于真空的材料

Yt2O3, Ir, Pt, Mo, Cu, W, NiFe, NiCr, stainless steel, glass

內(nèi)部容積 KF / CF

cm(in.3)

24 (1.46) / 34 (2.1)

重量 KF / CF

g

450 / 710

保護(hù)等級(jí)

IP30

Profibus DP

 

波特率

9.6 / 19.2 / 93.75 / 187.5 / 500

地址

2 switches (address 00 - 127) or network programmable

數(shù)字功能

read pressure, select units: Torr, mbar, Pa; emission control, degas function, monitor gauge status, filament status, safe state allows definition of behavior in case of error, detailed alarm and warning information

模擬功能

… 10 V analog output pressure indication, two setpoint relays A + B

設(shè)定點(diǎn)繼電器: 設(shè)定點(diǎn)數(shù)量

2

設(shè)定點(diǎn)繼電器: 范圍

mbar

1×10-9 … 100

設(shè)定點(diǎn)繼電器: 繼電器觸點(diǎn)

n.o., potential free

設(shè)定點(diǎn)繼電器: 滯后

% of reading

10

設(shè)定點(diǎn)繼電器: 觸點(diǎn)額定值

30

Profibus DP 連接器

D-Sub, 9-pin, female

CDG(模擬輸出、電源電壓、設(shè)定點(diǎn))連接器

D-Sub, 15-pin, male

DeviceNet

 

協(xié)議

DeviceNet, group 2 slave only

數(shù)據(jù)率開關(guān)

kBaud

125, 250, 500 or network programmable

電纜長(zhǎng)度 125 kbps

m (ft.)

500 (1650)

電纜長(zhǎng)度 250 kbps

m (ft.)

250 (825)

電纜長(zhǎng)度 500 kbps

m (ft.)

100 (330)

MAC ID

2 switches (address 00 - 63) or network programmable

數(shù)字功能

read pressure, select units: Torr, mbar, Pa; emission control, degas function, monitor gauge status, filament status, safe state allows definition of behavior in case of error, detailed alarm and warning information

模擬功能

… 10 V analog output pressure indication, two setpoint relays A + B

技術(shù)規(guī)格

DeviceNet™ "Vacuum Gauge Device Profile"

設(shè)備類型

''CG'' for combination gauge

I / O 從屬傳訊

polling only

設(shè)定點(diǎn)繼電器: 設(shè)定點(diǎn)數(shù)量

2

設(shè)定點(diǎn)繼電器: 范圍

mbar

1×10-9 … 100

設(shè)定點(diǎn)繼電器: 繼電器觸點(diǎn)

n.o., potential free

設(shè)定點(diǎn)繼電器: 滯后

% of reading

10

設(shè)定點(diǎn)繼電器: 觸點(diǎn)額定值

30

DeviceNet™ 電源電壓

+11 … +25

真空計(jì)電源電壓

+20 … +28

DeviceNet™ 連接器

Microstyle, 5-pin

BPG(模擬輸出、電源電壓、設(shè)定點(diǎn))連接器

D-Sub, 15-pin, male

1) 除氣期間降低精度

2) 同時(shí)使用 RS232C 或 VGC40x 系列控制器,不允許使用現(xiàn)場(chǎng)總線

3) 適用于 RS232C 運(yùn)行 <30m

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