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3d白光光學(xué)干涉輪廓儀 3d輪廓測量儀

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參考價(jià): ￥ 960000

訂貨量: ≥1 臺

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號SuperViewW1

品牌

廠商性質(zhì)生產(chǎn)商

所在地深圳市

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更新時(shí)間：2023-05-15 14:49:49瀏覽次數(shù)：463次

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產(chǎn)品分類 品牌分類

  顯微測量儀

白光干涉儀

共聚焦顯微鏡

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深圳市中圖儀器股份有限公司

經(jīng)營模式：生產(chǎn)廠家

商鋪產(chǎn)品：100條

所在地區(qū)：廣東深圳市

聯(lián)系人：精密儀器儀（中圖儀器）

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產(chǎn)品簡介

產(chǎn)地	國產(chǎn)

SuperViewW13d白光光學(xué)干涉輪廓儀設(shè)備提供表征微觀形貌的粗糙度和臺階高、角度等輪廓尺寸測量功能；Z向分辨率：0.1nm；Z向掃描范圍：10.3mm；XY水平位移臺：電動手動均可調(diào)節(jié)。有自動化功能：自動單區(qū)域測量、自動多區(qū)域測量、多區(qū)域定位自動搜索測量、自動拼接測量；防撞保護(hù)：軟件設(shè)置防撞、硬件傳感器防撞。

詳細(xì)介紹

白光干涉儀是一款用于對各種精密器件及材料表面進(jìn)行亞納米級測量的檢測儀器。它是以白光干涉技術(shù)為原理、結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，通過系統(tǒng)軟件對器件表面3D圖像進(jìn)行數(shù)據(jù)處理與分析，并獲取反映器件表面質(zhì)量的2D、3D參數(shù)，從而實(shí)現(xiàn)器件表面形貌3D測量的光學(xué)檢測儀器。

中圖儀器SuperViewW13d白光光學(xué)干涉輪廓儀Z向分辨率：0.1nm；Z向掃描范圍：10.3mm；XY水平位移臺：電動手動均可調(diào)節(jié)。有自動化功能：自動單區(qū)域測量、自動多區(qū)域測量、多區(qū)域定位自動搜索測量、自動拼接測量；防撞保護(hù)：軟件設(shè)置防撞、硬件傳感器防撞。可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學(xué)加工、微納材料及制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、科研院所等領(lǐng)域中，測各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等。

產(chǎn)品功能

1）SuperViewW13d白光光學(xué)干涉輪廓儀設(shè)備提供表征微觀形貌的粗糙度和臺階高、角度等輪廓尺寸測量功能；

2）測量中提供自動對焦、自動找條紋、自動調(diào)亮度等自動化輔助功能；

3）測量中提供自動拼接測量、定位自動多區(qū)域測量功能；

4）分析中提供校平、圖像修描、去噪和濾波、區(qū)域提取等四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能；

5）分析中提供粗糙度分析、幾何輪廓分析、結(jié)構(gòu)分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能；

6）分析中同時(shí)提供一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能。

應(yīng)用領(lǐng)域

對各種產(chǎn)品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測量和分析。

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性能參數(shù)

型號		W1
光源		白光LED
影像系統(tǒng)		1024×1024
干涉物鏡		標(biāo)配:10× 選配:2.5×、5×、20×、50×、100×
光學(xué)ZOOM		標(biāo)配:0.5× 選配:0.375×、0.75×、1×
標(biāo)準(zhǔn)視場		0.98×0.98㎜（10×物鏡，光學(xué)ZOOM 0.5×）
XY位移平臺	尺寸	320×200㎜
	移動范圍	140×100㎜
	負(fù)載	10kg
	控制方式	電動
Z軸聚焦	行程	100㎜
	控制方式	電動
形貌重復(fù)性		0.1nm
粗糙度RMS重復(fù)性		0.005nm
臺階測量		準(zhǔn)確度:0.3%;重復(fù)性:0.08%(1σ)
可測樣品反射率		0.05%~100
主機(jī)尺寸		700×606×920㎜