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X射線光電子能譜儀(XPS)

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X射線光電子能譜儀(XPS)X射線光電子能譜是分析物質(zhì)表面化學(xué)性質(zhì)的一項(xiàng)技術(shù)

詳細(xì)介紹

X射線光電子能譜儀(XPS)
X射線光電子能譜是分析物質(zhì)表面化學(xué)性質(zhì)的一項(xiàng)技術(shù)。XPS可測(cè)量材料中元素組成、經(jīng)驗(yàn)公式、元素化學(xué)態(tài)和電子態(tài)。用一束X射線激發(fā)固體表面,同時(shí)測(cè)量被分析材料表面1-10nm內(nèi)發(fā)射出電子的動(dòng)能,而得到XPS譜。光電子譜記錄超過(guò)一定動(dòng)能的電子。光電子譜中出現(xiàn)的譜峰為原子中一定特征能量電子的發(fā)射。光電子譜峰的能量和強(qiáng)度可用于定性和定量分析所有表面元素(氫元素除外)。

隨著對(duì)高性能材料需求的不斷增長(zhǎng),表面工程隨之顯得越來(lái)越重要。只有了解材料層表面處和界面處的物理和化學(xué)相互作用,才能解決許多與現(xiàn)代材料相關(guān)的問(wèn)題。 表面化學(xué)特性將影響材料的諸多方面,如腐蝕速率、催化活性、粘合性、表面潤(rùn)濕性、接觸勢(shì)壘和失效機(jī)理。

材料的表面是材料與外部環(huán)境及與其它材料相互作用的位置。所以,在許多應(yīng)用領(lǐng)域中,用表面修飾改變或改進(jìn)材料性能和特性。材料經(jīng)處理(如斷裂、切割或刮削)后,XPS可用于分析其化學(xué)特性。從不粘鍋涂層到薄膜電子學(xué)和生物活性表面,XPS成為表面材料表征的標(biāo)準(zhǔn)工具。

表面表征
表面層定義為大于3個(gè)原子層厚度(~1 nm),根據(jù)不同材料,表面層厚度不同。認(rèn)為不超過(guò)約10納米表面層為超薄層薄膜,不超過(guò)1μm為薄膜。但是名詞術(shù)語(yǔ)并沒(méi)有明確定義,隨不同材料和應(yīng)用,表面層、超薄膜和薄膜之間差異有所變化。
表面表示一種相與另一種相之間的不連續(xù),所以表面的物理化學(xué)性質(zhì)與體相物質(zhì)不同。這種差異在很大程度上影響材料最頂部原子層。在材料內(nèi)部按一定規(guī)則一個(gè)原子在各方向上被材料中的原子包圍。由于表面原子并不能在所有方向上被原子包圍,表面原子比體內(nèi)活潑,有可能成鍵。

表面特性
材料的性能和改性處理隨深度或厚度而變化,對(duì)于一定性能和改性處理,隨深度變化顯得比較重要。表面分析可深入到每一個(gè)領(lǐng)域。在一些工藝技術(shù)領(lǐng)域中表面和表面分析較為重要,包括:
  • 半導(dǎo)體、微電子學(xué)
  • 微電路
  • 超薄膜
  • 線路板軟焊
  • 清潔處理
  • 薄膜穩(wěn)定
  • 鈍化層
  • 潤(rùn)滑
  • 化工
  • 塑料、涂層
  • 催化劑
  • 纖維
  • 金屬鋼鐵工業(yè)
  • 氮化、碳化
  • 腐蝕
  • 焊接
  • 材料老化
  • 晶界分凝
  • 玻璃
  • 涂層
  • 發(fā)動(dòng)機(jī)、電子設(shè)備
  • 潤(rùn)滑
  • 腐蝕
  • 氧化
  • 材料老化、失效
  • 合成纖維
  • 粘合劑


光電發(fā)射過(guò)程
原子或分子吸收X射線光子,電子被激發(fā)出來(lái)。光電子動(dòng)能依賴于光子能量(hν)和電子結(jié)合能(即電子離開(kāi)表面所需能量)。
通過(guò)測(cè)量發(fā)射電子的動(dòng)能,計(jì)算電子結(jié)合能,確定材料的近表面處元素及其化學(xué)態(tài)。結(jié)合能與許多因素有關(guān),包括:
  * 發(fā)射電子的元素
  * 發(fā)射電子的軌道
  * 發(fā)射電子原子的化學(xué)環(huán)境

The photoemission process involved for XPS surface analysis. The discs represent electrons and the bars represent energy levels within the material being analyzed. The equation governing the process is: KE = hν - BE


光電子能譜技術(shù)
為了說(shuō)明XPS譜,在寬能量范圍內(nèi)掃描了一張氧化鋇的全譜。在這張譜上有多個(gè)鋇和氧的峰以及表面雜質(zhì)碳峰。用現(xiàn)代XPS能譜儀,這張氧化鋇的譜采集約10秒鐘。由于氧化鋇為絕緣體,在分析期間,在樣品上導(dǎo)入一束低能電子控制樣品荷電。在譜圖中譜峰下方出現(xiàn)了明顯的背景,這是由于電子在逃逸樣品前發(fā)生非彈性散射所致。這種非彈性散射降低了電子的動(dòng)能和譜峰的強(qiáng)度。定量分析譜之前必須扣除背景。
Survey spectrum from barium oxide showing various barium and oxygen peaks and a carbon peak.
氧化鋇全譜,圖中出現(xiàn)了鋇和氧的多個(gè)峰和碳峰。

從XPS譜中也可以確定化學(xué)價(jià)態(tài)。 此處給出兩種方法處理聚對(duì)苯二甲酸乙二醇酯(PET)的C1s XPS譜。這兩個(gè)樣品的處理方法不同,一個(gè)是旋涂,另一個(gè)是切片PET。PET中的碳原子出現(xiàn)了3種化學(xué)態(tài)。兩種處理方法導(dǎo)致了不同的聚合物構(gòu)形,也影響了XPS譜使得(-O-C-)峰發(fā)生微小移動(dòng)。
聚對(duì)苯二甲酸乙二醇酯( PET )旋涂和切片的 C1s 的 XPS 譜。碳有 3 個(gè)不同的化學(xué)態(tài)。內(nèi)插圖中給出了 PET 結(jié)構(gòu)。(英國(guó) Daresbury RUSTI, G Beamson 提供譜)

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