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全自動(dòng)勻膠機(jī)

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更新時(shí)間：2023-11-12 11:50:15瀏覽次數(shù)：443次

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

轉(zhuǎn)速 6000RPM轉(zhuǎn)速精準(zhǔn)度 ≤1-4%RPM勻膠滴膠手臂控制步進(jìn)馬達(dá)滴膠頭位置精準(zhǔn) ≤0.2mm

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品介紹

1 )控制系統(tǒng)由PLC觸摸屏構(gòu)成,故障率低,可靠性強(qiáng),操作簡(jiǎn)單,易于維護(hù)。
2 )傳動(dòng)方式通過導(dǎo)軌絲桿傳動(dòng)。
3 )主軸使用高速直流無(wú)刷電機(jī),帶數(shù)字顯示,精確控制轉(zhuǎn)速。
4)自主設(shè)計(jì)開發(fā)薄膜式的噴膠泵,出膠穩(wěn)定,自帶回吸,保證了定量滴膠,可節(jié)省光刻膠用量。
5)效率高,雙軸運(yùn)動(dòng)方式，上料與下料單獨(dú)控制,采用雙加熱盤,降低等待時(shí)間。
6)設(shè)置靈活,多功能。通過一鍵設(shè)置,可將自動(dòng)滴膠轉(zhuǎn)換為手動(dòng)滴膠。
7 )熱板控溫方式為可控硅，自帶超溫保護(hù)系統(tǒng),熱板均勻性好。熱板采用頂針升降,方便硅片烘烤。

技術(shù)參數(shù)

轉(zhuǎn)速 6000RPM
轉(zhuǎn)速精準(zhǔn)度 ≤1-4%RPM
勻膠滴膠手臂控制步進(jìn)馬達(dá)
滴膠頭位置精準(zhǔn) ≤0.2mm

應(yīng)用范圍

該設(shè)備為全自動(dòng)_上下料勻膠設(shè)備,主要應(yīng)用于3-5寸方形晶圓涂膠、烘干,采用標(biāo)準(zhǔn)片盒收放片,自動(dòng)運(yùn)行。該設(shè)備為單軌道形式，上料、涂膠、烘干、取料。