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U1510掃描電子顯微鏡

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更新時(shí)間:2024-06-30 07:26:02瀏覽次數(shù):91次

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U1510掃描電子顯微鏡一、用途SU1510掃描電子顯微鏡主機(jī)寬度僅為55cm體型小巧,具有3.0nm分辨率的高性能可變壓力掃描電鏡

詳細(xì)介紹

U1510掃描電子顯微鏡

一、用途

SU1510掃描電子顯微鏡主機(jī)寬度僅為55cm體型小巧,具有3.0nm分辨率的高性能可變壓力掃描電鏡。

特點(diǎn)

  

1. 儀器主體比過去減小20%,可以更加自由地選擇安裝場(chǎng)地。

  

2. 標(biāo)配低真空功能,可以對(duì)不導(dǎo)電進(jìn)行無噴涂觀察。高低真空轉(zhuǎn)換一鍵完成。

  

3. 可載入*大直徑153mm,高度為60mm(WD=15mm)的樣品,并進(jìn)行元素分析。

  

4. 強(qiáng)大的鼠標(biāo)控制功能,可實(shí)現(xiàn)電鏡的所有操作。

  

5. 分子泵真空系統(tǒng),潔凈無污染。


二、技術(shù)規(guī)格

項(xiàng)目內(nèi)容
二次電子分辨率3.0nm(高真空,30kV)
背散射電子分辨率4.0nm(低真空:6Pa,30kV)
倍率5~300,000X
加速電圧0.3~30 kV
樣品臺(tái) X 0~80 mm
Y 0~40 mm;
Z 5~50 mm;
T -20°~ 90°;
R 360°
樣品臺(tái)控制手動(dòng)(可選:2軸馬達(dá))
*大載入樣品尺寸直徑:153 mm
*大觀察范圍直徑:126 mm(XYR并用)
*大樣品高度60 mm(WD=15 mm)
低真空范圍6-270Pa(從菜單設(shè)定)
燈絲預(yù)對(duì)中鎢燈絲
物鏡光闌4孔可變光闌
槍偏壓固定比例偏壓、手動(dòng)偏壓和自動(dòng)4偏壓
檢測(cè)器二次電子檢測(cè)器,高靈敏度半導(dǎo)體背散射電子檢測(cè)器
EDX分析位置WD=15,TOA=35°
真空系統(tǒng)分子泵1臺(tái),機(jī)械泵1臺(tái)
安全措施停電,漏電,自動(dòng)保護(hù)



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