碳化硅HMDS烘箱的背景

碳化硅HMDS烘箱，SiC襯底HMDS烤箱的作用

  HMDS烘箱將HMDS氣相沉積至半導(dǎo)體制造中氮化鎵（GaN）和、碳化硅（SiC）、硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃、藍寶石、晶圓等材料表面后，經(jīng)系統(tǒng)加溫可反應(yīng)生成以硅氧烷為主體的化合物。它成功地將硅片表面由親水變?yōu)槭杷?，其疏水基可很好地與光刻膠結(jié)合，起著偶聯(lián)劑的作用。

碳化硅HMDS烘箱，SiC襯底HMDS烤箱主要性能：

空間(mm)：300*300*300

       450*450*450

       600*600*600，可定制

適用產(chǎn)品：兼容1-12寸晶圓及碎片

溫度范圍：RT+10-250℃

溫度穩(wěn)定度：≤±0.5℃

真空度：≤133pa（1torr）

材質(zhì)：316L不銹鋼+冷軋板噴塑

HMDS系統(tǒng)：密閉設(shè)計，自動開啟，數(shù)據(jù)可設(shè)定

液位計：低液位報警

儲液瓶：HMDS儲液量1000ml 

真空泵：無油渦旋真空泵

運行時間：20Min

計量單位：S/Pa

運行方式：自動運行

進氣：N2

排氣：有機排放

電源：220V、50-60HZ

功率：2800W